サファイアSiC Si用1インチウエハカセットボックス
詳細図
1インチウエハーカセットボックスの概要
その1インチウエハーカセットボックスは、半導体、オプトエレクトロニクス、およびマイクロエレクトロメカニカル（MEMS）アプリケーションで使用される精密ウェハ向けに設計された、特殊な保管・輸送ソリューションです。高純度材料で製造されたこのカセットボックスは、保管、取り扱い、輸送プロセスにおいて繊細な基板を最大限に保護します。小型電子部品と高品質な微細加工の需要が高まる中、1インチカセットボックスは、研究所、研究開発センター、そして産業用製造施設にとって不可欠なアクセサリとなっています。
石英ガラスシートの主な特徴
1インチ・ウェーハカセットボックスは、直径1インチ（25.4mm）のウェーハを収容できるように設計されており、汚染、機械的損傷、静電放電を防ぐ安全でクリーンな環境を提供します。精密成形構造と厳格な寸法公差により、信頼性の高いウェーハアライメントと安定したスタッキングを実現します。透明または半透明の筐体設計により、開封せずに迅速な目視検査が可能で、外部環境への露出を最小限に抑えます。
ポリカーボネート（PC）などの先進ポリマーを素材とするこのウェーハカセットボックスは、優れた機械的強度、耐薬品性、熱安定性を備えています。これらの特性により、厳格な汚染管理が求められるクリーンルーム環境での使用に最適です。このボックスは業界標準のウェーハカセットと互換性があり、自動ウェーハ搬送装置とシームレスに統合できます。
1インチウエハーカセットボックスの主な特長
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高純度材料: ウェーハの完全性を維持するために、ガス放出が少なく純度の高い PC または PP で作られています。
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精密製造: 厳しい許容誤差により、適切なウェーハの位置合わせと安全な位置決めが保証されます。
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クリーンルーム適合性: クラス 100 以上のクリーンルーム環境向けに設計されています。
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目視検査ウィンドウ: 透明なハウジングにより、ウェハのカウントと状態の確認が迅速に行えます。
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ESD保護(オプション): 静電気放電を防止するための帯電防止コーティングまたは導電性材料を使用できます。
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安全なロック機構: スナップフィットまたはラッチ設計によりしっかりと閉じられ、輸送中に誤って開くことを防ぎます。
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積み重ね可能で省スペース: 損傷のリスクなしに垂直に積み重ねられるように最適化されています。
3. アプリケーション
1インチウエハーカセットボックスの応用
その1インチカセットボックス複数のハイテク業界で広く活用されています。
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半導体製造リソグラフィー、エッチング、堆積、検査プロセス中にシリコン ウェーハを保護します。
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オプトエレクトロニクスLED、レーザーダイオード、および光子デバイスの製造用のサファイア、GaAs、またはInP ウェーハを保管します。
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MEMS製造: 厳格な汚染管理を必要とする壊れやすいマイクロデバイスの取り扱い。
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研究開発と学術: 実験室でのプロトタイプ開発や微細加工プロセスのテストに使用されます。
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精密光学: 高精度レンズやフィルター製造における小型光学基板に適しています。
技術仕様
| 仕様 | 詳細 |
|---|---|
| 材料 | 高純度ポリカーボネート（PC） |
| ウエハサイズ | 直径1インチ（25.4mm） |
| 容量 | 通常、カセットあたり25枚のウェハーを収容します |
| 寸法 | 約160mm（長さ）×35mm（幅）×45mm（高さ） |
| 重さ | 約200g（空） |
| 耐熱性 | -20℃～120℃ |
| クリーンルーム評価 | ISOクラス5（クラス100）以上 |
1インチウエハーカセットボックスに関するFAQ
Q1: 1 インチ カセット ボックスにはどのような種類のウェーハを収納できますか?
A1: 直径1インチのシリコン、サファイア、GaAs、InPなどの特殊基板を保管できます。
Q2: カセット ボックスは自動ウェーハ処理システムでの使用に適していますか?
A2: はい、ほとんどの業界標準のロボットハンドリングシステムと互換性があるように設計されています。
Q3: ボックスは消毒または洗浄できますか?
A3: ボックスはIPAまたは純水で洗浄できます。一部のバージョンはオートクレーブ可能です。
Q4: ESD に対する保護は提供されますか?
A4: ご要望に応じて、導電性材料またはコーティングを組み込んだ ESD 安全バージョンもご提供いたします。
Q5: カスタムカラーやラベルを注文できますか?
A5: はい、識別とプロセス制御のためのカスタマイズ オプションが利用可能です。
私たちについて
XKHは、特殊光学ガラスおよび新結晶材料のハイテク開発、生産、販売を専門とする企業です。製品は、光エレクトロニクス、コンシューマーエレクトロニクス、軍事分野など多岐にわたります。サファイア光学部品、携帯電話レンズカバー、セラミックス、LT、シリコンカーバイド（SiC）、石英、半導体結晶ウェハなどを提供しています。熟練した専門知識と最先端の設備を駆使し、非標準製品の加工にも強みを発揮し、光電子材料のハイテク企業として世界をリードすることを目指しています。
