150mm 6 インチ 0.7mm 0.5mm サファイア ウェーハ基板キャリア C プレーン SSP/DSP
アプリケーション
6 インチのサファイア ウェーハの用途には次のものがあります。
1. LED製造:サファイアウェハはLEDチップの基板として使用でき、その硬度と熱伝導率によりLEDチップの安定性と耐用年数を向上させることができます。
2. レーザー製造: サファイアウェーハはレーザーの基板としても使用でき、レーザーの性能を向上させ、耐用年数を延長するのに役立ちます。
3. 半導体製造: サファイアウェーハは、光合成、太陽電池、高周波電子デバイスなどを含む電子および光電子デバイスの製造に広く使用されています。
4. その他の用途: サファイア ウェーハは、タッチ スクリーン、光学デバイス、薄膜太陽電池、その他のハイテク製品の製造にも使用できます。
仕様
材料 | 高純度単結晶Al2O3、サファイアウエハー。 |
寸法 | 150 mm +/- 0.05 mm、6 インチ |
厚さ | 1300 +/- 25 μm |
向き | C 面 (0001) オフ M (1-100) 面 0.2 +/- 0.05 度 |
プライマリフラット方向 | 平面 +/- 1 度 |
一次平坦長さ | 47.5 mm +/- 1 mm |
総厚さの変動 (TTV) | <20μm |
弓 | <25μm |
ワープ | <25μm |
熱膨張係数 | C軸に平行に6.66×10-6/℃、C軸に垂直に5×10-6/℃ |
絶縁耐力 | 4.8×105V/cm |
誘電率 | C 軸に沿って 11.5 (1 MHz)、C 軸に垂直に 9.3 (1 MHz) |
誘電正接 (別名散逸率) | 1×10-4未満 |
熱伝導率 | 40W/(mK) 20℃ |
研磨 | 片面研磨 (SSP) または両面研磨 (DSP) Ra < 0.5 nm (AFM による)。 SSP ウェーハの裏面を Ra = 0.8 ~ 1.2 um まで精密研削しました。 |
透過率 | 88% +/-1 % @460 nm |
詳細図
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