50.8mm/100mm AlNテンプレート(NPSS/FSS) サファイア基板上のAlNテンプレート
AlNオンサファイア
AlN-On-Sapphire は、次のようなさまざまな光電デバイスの製造に使用できます。
1. LEDチップ:LEDチップは通常、窒化アルミニウム膜などの材料で作られています。LEDチップの基板としてAlN-On-Sapphireウェハを使用することで、LEDの効率と安定性を向上させることができます。
2. レーザー: AlN-On-Sapphire ウェーハは、医療、通信、材料処理でよく使用されるレーザーの基板としても使用できます。
3. 太陽電池:太陽電池の製造には、窒化アルミニウムなどの材料が必要です。AlN-On-Sapphireを基板として使用すると、太陽電池の効率と寿命が向上します。
4. その他の光電子デバイス:AlN-On-Sapphire ウェーハは、光検出器、光電子デバイス、その他の光電子デバイスの製造にも使用できます。
結論として、AlN-On-Sapphire ウェーハは、高い熱伝導率、高い化学的安定性、低損失、優れた光学特性を備えているため、光電気分野で広く使用されています。
NPSS/FSS上の50.8mm/100mm AlNテンプレート
アイテム | 備考 | |||
説明 | AlN-on-NPSSテンプレート | AlN-on-FSSテンプレート | ||
ウェーハ直径 | 50.8mm、100mm | |||
基板 | C面NPSS | c面平面サファイア(FSS) | ||
基板の厚さ | 50.8mm、100mmc面平面サファイア(FSS)100mm:650μm | |||
AINエピ層の厚さ | 3~4μm(目標:3.3μm) | |||
導電率 | 断熱材 | |||
表面 | 成長した | |||
RMS<1nm | RMS<2nm | |||
裏面 | 粉砕 | |||
FWHM(002)XRC | 150秒角未満 | 150秒角未満 | ||
FWHM(102)XRC | < 300秒角 | < 300秒角 | ||
エッジ除外 | 2mm未満 | 3mm未満 | ||
主な平面方向 | a面+0.1° | |||
プライマリフラット長さ | 50.8mm: 16+/-1mm 100mm: 30+/-1mm | |||
パッケージ | 配送用箱またはシングルウェーハ容器に梱包 |
詳細図


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