Dia50.8mm サファイアウェハーサファイアウィンドウ高光透過率 DSP/SSP

サファイア(Al2O3)ウェーハは、格子の不整合が少なく、化学的および物理的特性が安定しているため、III-V族窒化物、超電導体、磁性エピ膜用の基板として人気があります。これらは、GaN および薄膜エピタキシャル成長、サファイア上のシリコン、LED 市場および光学産業で広く使用されています。

製品の詳細

単結晶サファイアの特徴
1. サファイアは光透過率が高いため、マイクロ電子管誘電体材料、超音波伝導素子、導波路レーザーキャビティ、その他の光学素子、赤外線軍事機器、宇宙船、高強度レーザー、光学機器の窓材として広く使用されています。コミュニケーション。

2. サファイアは高剛性、高強度、高使用温度、耐摩耗性、耐食性の特性を備えているため、サファイア基板はボイラー水量計（高温耐性）、商品バーコードスキャナー、ベアリング、およびその他の精密製造（耐摩耗性）、石炭、ガス、坑井検出センサーおよび検出窓（耐腐食性）。

3. サファイアは、電気絶縁性、透明性、良好な熱伝導性、高剛性などの特性を備えているため、LEDやマイクロ電子回路、超高速集積回路などの集積回路の基板材料として使用できます。

直径	50.8mm +/-0.1mm または +/-0.02mm
厚さ	0.43mm±0.1mmまたは+/-0.02mm
オリエンテーション	C面/A面/M面/R面
表面品質（スクラッチ＆ディジット）	60/40、40/20 以上
面精度	λ/10、λ/2、λ
クリアアパーチャ	>85%、>90%
平行度	+/-3 フィート、+/-30 インチ
ベベル	0.1～0.3mm×45度
コーティング	AR、BBAR、または顧客のリクエストに応じて（UV、VIS、IR）

いいえ	プロパティ	目標	許容範囲	備考
1	直径	50.8mm	±0.1mm
2	厚さ	430μm	±15μm
3	C面の面方位	C軸から外してM0.2°まで	±0.1°
4	一次平坦長さ	16mm	±11mm
5	プライマリフラット方向	A面(11-20)	±0.1°
6	裏面粗さ	0.8～1.2μm
7	表面粗さ	<0.3nm
8	ウェーハエッジ	Rタイプ
9	総厚さの変化、TTV	≤ 10μm(LTV≤5μm、5*5)
10	ソリ	≤10μm
11	弓	-10μm≦BOW≦0
12	レーザーマーク	該当なし		持っていない
	パッケージ	1つのカセットに25枚のウェーハを収納
	トレース能力	ウェーハはカセット番号に関して追跡可能でなければなりません