4 インチ サファイア ウェーハ C プレーン SSP/DSP 0.43mm 0.65mm

簡単な説明:

サファイアは、物理的、化学的、光学的特性を独自に組み合わせた素材であり、高温、熱衝撃、水や砂の浸食、傷に対する耐性を備えています。


製品の詳細

製品タグ

アプリケーション

● III-V および II-VI 化合物の成長基質。
● エレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクス。
● IR アプリケーション。
● シリコン・オン・サファイア集積回路(SOS)。
● 無線周波数集積回路(RFIC)。
LED の製造では、電流を流すと発光する窒化ガリウム (GaN) 結晶を成長させるための基板としてサファイア ウェーハが使用されます。サファイアは、GaN と同様の結晶構造と熱膨張係数を持ち、欠陥が最小限に抑えられ、結晶品質が向上するため、GaN 成長に理想的な基板材料です。

光学分野では、サファイア ウェーハは、その高い透明性と硬度により、高圧高温環境での窓やレンズとして、また赤外線イメージング システムとして使用されます。

仕様

アイテム 4インチ C面(0001) 650μm サファイアウェハ
水晶材料 99,999%、高純度、単結晶Al2O3
学年 プライム、エピ対応
面の配向 C面(0001)
M 軸方向の C 面オフ角 0.2 +/- 0.1°
直径 100.0mm +/- 0.1mm
厚さ 650μm +/- 25μm
プライマリフラット方向 A面(11-20) +/- 0.2°
一次平面長さ 30.0mm +/- 1.0mm
片面研磨 前面 エピ研磨、Ra < 0.2 nm (AFM による)
(SSP) 背面 微粉砕、Ra = 0.8 μm ~ 1.2 μm
両面研磨 前面 エピ研磨、Ra < 0.2 nm (AFM による)
(DSP) 背面 エピ研磨、Ra < 0.2 nm (AFM による)
TTV < 20μm
< 20μm
ワープ < 20μm
洗浄・梱包 クラス100のクリーンルーム洗浄と真空包装、
25枚入り1カセット包装または単品包装。

梱包と配送

通常、25個のカセットボックスでパッケージを提供します。お客様のご要望に応じて、100グレードの洗浄室で枚葉容器に梱包することも可能です。

詳細図

4インチサファイアウェハ3
4インチサファイアウェハ4

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