12インチ径300x1.0mmtサファイアウエハー基板C面SSP/DSP
12インチサファイア基板市場の状況
現在、サファイアの主な用途は2つあります。1つは基板材料で、主にLED基板材料です。もう1つは時計の文字盤、航空、宇宙、特殊製造の窓材料です。
LED基板としては、サファイア基板に加え、炭化ケイ素、シリコン、窒化ガリウムも利用可能ですが、コストと未解決の技術的ボトルネックにより、量産化は未だ実現していません。サファイア基板は近年の技術開発により、格子整合、導電性、機械特性、熱伝導性などの特性が大幅に向上・向上し、コストパフォーマンスの優位性も顕著です。そのため、サファイアはLED業界において最も成熟度が高く安定した基板材料となり、市場で広く使用され、市場シェアは90%にも達しています。
12インチサファイアウエハ基板の特性
1. サファイア基板表面のパーティクル数は極めて少なく、2～8インチサイズの範囲では0.3ミクロン以上のパーティクルが2インチあたり50個未満、主要金属（K、Ti、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn）のパーティクル数は2E10/cm2未満です。12インチベース材でもこのグレードを達成する見込みです。
2. 12インチ半導体製造工程のキャリアウェーハ（装置内搬送パレット）やボンディング用基板として使用できます。
3. 凹面と凸面の形状を制御できます。
材質：高純度単結晶Al2O3、サファイアウエハー。
LED 品質、気泡、ひび割れ、双子、系統、色なしなどなし。
12インチサファイアウエハー
| オリエンテーション | C面<0001> +/- 1度 |
| 直径 | 300.0 +/-0.25 mm |
| 厚さ | 1.0 +/-25um |
| ノッチ | ノッチまたはフラット |
| TTV | <50um |
| 弓 | <50um |
| エッジ | プロアクティブ面取り |
| 前面 – ポリッシュ80/50 | |
| レーザーマーク | なし |
| パッケージ | シングルウェーハキャリアボックス |
| 前面エピ研磨済み（Ra <0.3nm） | |
| 裏面エピ研磨済み（Ra <0.3nm） | |
詳細図
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