12インチSIC基質炭化シリコンプライムグレード直径300mm大規模4H-N高出力デバイス熱散逸に適しています

簡単な説明:

12インチの炭化シリコン基板(SIC基板)は、炭化シリコンの単結晶から作られた大規模で高性能の半導体材料基板です。炭化シリコン(SIC)は、優れた電気、熱、機械的特性を備えたワイドバンドギャップ半導体材料であり、高出力、高周波数、高温環境の電子デバイスの製造に広く使用されています。 12インチ(300mm)基板は、炭化シリコン技術の現在の高度な仕様であり、生産効率を大幅に改善し、コストを削減できます。


製品の詳細

製品タグ

製品の特性

1.熱伝導率:炭化シリコンの熱伝導率は、シリコンの3倍以上であり、高出力デバイスの熱放散に適しています。

2。高分解場の強度:故障フィールド強度は、シリコンの10倍で、高圧アプリケーションに適しています。

3.全体のバンドギャップ:バンドギャップは3.26EV(4H-SIC)で、高温および高周波アプリケーションに適しています。

4。高硬度:Mohsの硬度は9.2、ダイヤモンドに次いで2番目、優れた耐摩耗性と機械的強度です。

5。化学物質の安定性:強い腐食抵抗、高温および過酷な環境での安定した性能。

6。大規模:12インチ(300mm)基板、生産効率を改善し、単位コストを削減します。

7.低欠陥密度:高品質の単結晶成長技術は、欠陥密度が低く、一貫性が高いことを保証します。

製品メインアプリケーションの方向

1。パワーエレクトロニクス:

MOSFET:電気自動車、産業用モータードライブ、電力コンバーターで使用されます。

ダイオード:効率的な整流およびスイッチング電源に使用されるSchottky Diodes(SBD)など。

2。RFデバイス:

RFパワーアンプ:5G通信ベースステーションおよび衛星通信で使用されます。

マイクロ波デバイス:レーダーおよびワイヤレス通信システムに適しています。

3。新しいエネルギー車:

電気駆動システム:電気自動車用のモーターコントローラーとインバーター。

充電杭:高速充電装置用の電源モジュール。

4。産業用アプリケーション:

高電圧インバーター:産業用モーター制御とエネルギー管理用。

スマートグリッド:HVDCトランスミッションおよびパワーエレクトロニクストランス。

5。航空宇宙:

高温エレクトロニクス:航空宇宙機器の高温環境に適しています。

6。研究分野:

ワイドバンドギャップ半導体研究:新しい半導体材料とデバイスの開発。

12インチの炭化シリコン基板は、熱伝導率、高い分解磁場強度、ワイドバンドギャップなどの優れた特性を備えた、一種の高性能半導体材料基板です。パワーエレクトロニクス、無線周波数デバイス、新しいエネルギー車両、産業制御、航空宇宙で広く使用されており、次世代の効率的で高出力の電子デバイスの開発を促進するための重要な材料です。

現在、シリコン炭化物基板はARメガネなどの家庭用電子機器での直接的な応用が少ないが、効率的な電力管理と小型電子機器の可能性は、将来のAR/VRデバイスの軽量で高性能電源ソリューションをサポートする可能性がある。現在、炭化シリコンの主な開発は、新しいエネルギー車両、通信インフラストラクチャ、産業の自動化などの産業分野に集中しており、半導体産業をより効率的で信頼性の高い方向に発展させています。

XKHは、包括的な技術サポートとサービスを備えた高品質の12インチSIC基板を提供することに取り組んでいます。

1。カスタマイズされた生産:顧客によると、異なる抵抗率、結晶の向き、表面処理基板を提供する必要があります。

2。プロセスの最適化:製品のパフォーマンスを向上させるために、エピタキシャルの成長、デバイスの製造、その他のプロセスの技術サポートを顧客に提供します。

3。テストと認証:基板が業界の基準を満たしていることを確認するために、厳密な欠陥検出と品質認証を提供します。

4.R&D協力:顧客と共同で新しいシリコンカーバイドデバイスを開発して、技術革新を促進します。

データチャート

1 2インチ炭化シリコン(sic)基質仕様
学年 Zerompd生産
グレード(Zグレード)
標準生産
グレード(Pグレード)
ダミーグレード
(Dグレード)
直径 3 0 0 mm〜1305mm
厚さ 4H-N 750μm±15μm 750μm±25μm
4h-si 750μm±15μm 750μm±25μm
ウェーハの向き オフ軸:4h-Nで4.0°<1120>±0.5°、軸上:4H-SIで<0001>±0.5°
マイクロパイプ密度 4H-N ≤0.4cm-2 ≤4cm-2 ≤25cm-2
4h-si ≤5cm-2 ≤10cm-2 ≤25cm-2
抵抗率 4H-N 0.015〜0.024Ω・cm 0.015〜0.028Ω・cm
4h-si ≥1e10Ω・cm ≥1e5Ω・cm
一次フラットオリエンテーション {10-10}±5.0°
プライマリフラット長 4H-N n/a
4h-si ノッチ
エッジ除外 3 mm
LTV/TTV/BOW/WARP ≤5μm/≤15μm/≤35μm/≤55μm ≤5μm/≤15μm/≤35□μm/≤55□μm
粗さ ポーランドRA≤1nm
CMPRA≤0.2nm RA≤0.5nm
高強度の光によるエッジ亀裂
高強度の光によるヘックスプレート
高強度光によるポリタイプの領域
視覚炭素包含
高強度の光によるシリコン表面の傷
なし
累積面積≤0.05%
なし
累積面積≤0.05%
なし
累積長さ20 mm以下、単一長さ2 mm
累積面積≤0.1%
累積面積3%
累積面積≤3%
累積長さ1×ウェーハ直径
高強度の光によるエッジチップ 0.2mm以上の幅と深さは許可されていません 許可された7、それぞれ1 mm以下
(TSD)ネジ脱臼 ≤500cm-2 n/a
(BPD)ベースプレーン脱臼 ≤1000cm-2 n/a
高強度光によるシリコン表面汚染 なし
パッケージング マルチワーファーカセットまたはシングルウェーハコンテナ
注:
1つの欠陥制限は、エッジ除外エリアを除き、ウェーハ表面全体に適用されます。
2 Siの顔のみで傷を確認する必要があります。
3転位データは、KOHエッチングされたウェーハからのみです。

XKHは引き続き研究開発に投資して、12インチの炭化シリコン炭化物基板の大きなサイズ、低欠陥、一貫性のブレークスルーを促進しますが、XKHはコンシューマーエレクトロニクス(AR/VRデバイスの電力モジュールなど)や量子計算などの新たなエリアでのアプリケーションを探索します。コストを削減し、容量を増やすことにより、XKHは半導体業界に繁栄をもたらします。

詳細な図

12インチSICウェーハ4
12インチSICウェーハ5
12インチSICウェーハ6

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