2インチ4インチ6インチパターンサファイア基板(PSS)GAN材料が栽培されているLED照明に使用できる

簡単な説明:

パターン化されたサファイア基板(PSS)は、サファイア基板上のドライエッチングのマスクであり、マスクには標準リソグラフィプロセスによってパターンが刻まれているため、サファイアはICPエッチングテクノロジーによってエッチングされ、マスクが除去され、最終的にGAN素材はgian epitaxyのepitaxyのepitaxyのepitaxyになります。このプロセスには、フォトレジストコーティング、ステップ曝露、曝露パターンの開発、ICPドライエッチング、クリーニングなど、いくつかのステップが含まれます。


製品の詳細

製品タグ

主な機能

1。構造的特性:
PSS表面には、エッチングプロセスパラメーターを調整することで形状、サイズ、および分布を制御できる整然とした円錐形または三角形の円錐パターンがあります。
これらのグラフィック構造は、光の伝播経路を変え、光の全反射を減らし、光の抽出の効率を改善するのに役立ちます。

2。材料特性:
PSSは、高品質のサファイアを基質材料として使用します。これは、高硬度、高い熱伝導率、良好な化学的安定性、光学的透明度の特性を備えています。
これらの特性により、PSSは、優れた光学性能を維持しながら、高温や圧力などの過酷な環境に耐えることができます。

3。光パフォーマンス:
GanとSapphireの基質の間の界面での多重散乱を変更することにより、PSSはGAN層内に完全に反射される光子をサファイア基板から逃れる機会を持つようにします。
この機能により、LEDの光抽出効率が大幅に向上し、LEDの明るい強度が向上します。

4。プロセス特性:
PSSの製造プロセスは比較的複雑で、リソグラフィやエッチングなどの複数のステップが含まれており、高精度の機器とプロセス制御が必要です。
ただし、テクノロジーの継続的な進歩とコストの削減により、PSSの製造プロセスは徐々に最適化され改善されます。

コアアドバンテージ

1.光抽出効率を改善する:PSSは、光伝播パスを変更して全反射を減らすことにより、LEDの光抽出効率を大幅に改善します。

2.プロロンLED寿命:PSSは、GANエピタキシャル材料の転位密度を低下させる可能性があり、それにより、活性領域の非放射性再結合と逆漏れ電流を減らし、LEDの寿命を延ばします。

3.改善LED明るさ:光抽出効率の改善とLED寿命の拡張により、PSSのLED光強度が大幅に強化されます。

4.生産コストの低下:PSSの製造プロセスは比較的複雑ですが、LEDの明るい効率と寿命を大幅に改善し、それにより生産コストをある程度削減し、製品の競争力を改善することができます。

主なアプリケーション領域

1。LED照明:LEDチップの基質材料としてのPSSは、LEDの発光効率と寿命を大幅に改善できます。
LED照明の分野では、PSSは、街灯、テーブルランプ、カーライトなどのさまざまな照明製品で広く使用されています。

2.セミュマクターデバイス:LED照明に加えて、PSSは、光検出器、レーザーなどの他の半導体デバイスを製造するためにも使用できます。これらのデバイスには、通信、医療、軍事、その他の分野で幅広いアプリケーションがあります。

3.オプトレクトロニクス積分:PSSの光学特性と安定性により、光電子積分の分野の理想的な材料の1つになります。光電子積分で、PSSを使用して、光学信号の伝達と処理を実現するために、光学波路、光スイッチ、およびその他のコンポーネントを作成できます。

技術的なパラメーター

アイテム パターン化されたサファイア基板(2〜6インチ)
直径 50.8±0.1 mm 100.0±0.2 mm 150.0±0.3 mm
厚さ 430±25μm 650±25μm 1000±25μm
表面の向き c平面(0001)m軸(10-10)0.2±0.1°に向かってオフアングル
c-plane(0001)a軸(11-20)0±0.1°に向かってオフアングル
一次フラットオリエンテーション Aプレーン(11-20)±1.0°
プライマリフラット長 16.0±1.0 mm 30.0±1.0 mm 47.5±2.0 mm
r平面 9時
前面仕上げ パターン
後部表面仕上げ SSP:ファイングラウンド、ra = 0.8-1.2um; DSP:epipolished、ra <0.3nm
レーザーマーク 裏側
TTV ≤8μm ≤10μm ≤20μm
≤10μm ≤15μm ≤25μm
ワープ ≤12μm ≤20μm ≤30μm
エッジ除外 ≤2mm
パターン仕様 形状構造 ドーム、コーン、ピラミッド
パターンの高さ 1.6〜1.8μm
パターン直径 2.75〜2.85μm
パターン空間 0.1〜0.3μm

XKHは、パターン化されたサファイア基板(PSS)の開発、生産、販売に焦点を当てており、世界中の顧客に高品質の高性能PSS製品を提供することに取り組んでいます。 XKHは、顧客のニーズに応じて、さまざまな仕様と異なるパターン構造を持つPSS製品をカスタマイズできる高度な製造技術と専門的な技術チームを持っています。同時に、XKHは製品の品​​質とサービス品質に注意を払い、顧客にあらゆる技術サポートとソリューションを提供することに取り組んでいます。 PSSの分野では、XKHは豊かな経験と利点を蓄積しており、グローバルパートナーと協力して、LED照明、半導体デバイス、その他の業界の革新的な開発を共同で促進することを楽しみにしています。

詳細な図

パターン化されたサファイア基質(PSS)6
パターン化されたサファイア基質(PSS)5
パターン化されたサファイア基板(PSS)4

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