AlN-on-NPSS ウェハ: 高温、高出力、RF アプリケーション向けの非研磨サファイア基板上の高性能窒化アルミニウム層
特徴
高性能AlN層: 窒化アルミニウム（AlN）は、高い熱伝導率（約200 W/m·K）広いバンドギャップ、 そして高い破壊電圧理想的な素材であり、高出力, 高周波、 そして高温アプリケーション。
非研磨サファイア基板（NPSS）: 研磨されていないサファイアは、費用対効果が高い, 機械的に頑丈表面研磨の煩雑さを省き、エピタキシャル成長のための安定した基盤を確保します。NPSSは優れた機械的特性を備えており、過酷な環境にも耐えうる耐久性を備えています。
高い熱安定性AlN-on-NPSSウェハは極端な温度変動に耐えることができるため、パワーエレクトロニクス, 自動車システム, LED、 そして光学アプリケーション高温条件下でも安定した性能が求められる。
電気絶縁AlNは優れた電気絶縁性を備えているため、電気的絶縁は重要です。RFデバイスそしてマイクロ波電子機器.
優れた放熱性: 高い熱伝導率を持つ AlN 層は、効果的な放熱を保証します。これは、高電力および高周波数で動作するデバイスの性能と寿命を維持するために不可欠です。
技術的パラメータ
| パラメータ | 仕様 |
| ウェーハ直径 | 2インチ、4インチ（カスタムサイズも承ります） |
| 基板タイプ | 非研磨サファイア基板（NPSS） |
| AlN層の厚さ | 2µm～10µm（カスタマイズ可能） |
| 基板の厚さ | 430µm ± 25µm（2インチの場合）、500µm ± 25µm（4インチの場合） |
| 熱伝導率 | 200 W/m·K |
| 電気抵抗率 | 高い絶縁性、RFアプリケーションに最適 |
| 表面粗さ | Ra ≤ 0.5µm（AlN層の場合） |
| 材料の純度 | 高純度AlN（99.9%） |
| 色 | ホワイト/オフホワイト（明るい色のNPSS基板を持つAlN層） |
| ウェーハの反り | < 30µm（標準） |
| ドーピングの種類 | ドーピングなし（カスタマイズ可能） |
アプリケーション
そのAlN-on-NPSS ウェハさまざまな業界のさまざまな高性能アプリケーション向けに設計されています。
高出力エレクトロニクスAlN層の高い熱伝導性と絶縁性により、パワートランジスタ, 整流器、 そして電源IC使用される自動車, 工業用、 そして再生可能エネルギーシステム。
無線周波数（RF）コンポーネントAlNの優れた電気絶縁性と低損失性により、RFトランジスタ, HEMT（高電子移動度トランジスタ）、その他電子レンジ部品高周波数および高電力レベルで効率的に動作します。
光学デバイス: AlN-on-NPSSウェハーは、レーザーダイオード, LED、 そして光検出器、ここで高い熱伝導率そして機械的な堅牢性長期にわたってパフォーマンスを維持するために不可欠です。
高温センサー: ウエハーは極度の熱にも耐えられるため、温度センサーそして環境モニタリング次のような業界で航空宇宙, 自動車、 そして石油・ガス.
半導体パッケージング: 使用される ヒートスプレッダーそして熱管理層パッケージングシステムにおいて、半導体の信頼性と効率性を確保します。
質疑応答
Q: シリコンなどの従来の材料と比較した、AlN-on-NPSS ウェハの主な利点は何ですか?
A: 主な利点はAlNの高い熱伝導率熱を効率的に放散できるため、高出力そして高周波アプリケーション熱管理が重要な用途では、AlNは広いバンドギャップそして素晴らしい電気絶縁、用途に優れていますRFそして電子レンジ機器従来のシリコンと比較して。
Q: NPSS ウェーハ上の AlN 層はカスタマイズできますか?
A: はい、AlN層の厚さは、お客様のアプリケーション固有のニーズに合わせてカスタマイズ可能です（2µmから10µm以上）。また、ドーピングタイプ（N型またはP型）や特殊機能のための追加層についてもカスタマイズ可能です。
Q: 自動車業界におけるこのウェハの一般的な用途は何ですか?
A: 自動車業界では、AlN-on-NPSSウェハーは、パワーエレクトロニクス, LED照明システム、 そして温度センサー優れた熱管理と電気絶縁性を備えており、さまざまな温度条件下で動作する高効率システムに不可欠です。
詳細図
