ウェーハおよび基板ハンドリング用アルミナセラミックエンドエフェクタ/フォークアーム
詳細図
アルミナセラミックエンドエフェクタの概要
アルミナセラミックエンドエフェクタ（一般的にセラミックフォークアームまたはセラミックグリッパーと呼ばれる）は、ロボットオートメーションやクリーンルーム生産ラインで使用される重要なツールです。アルミナセラミックエンドエフェクタは、製品との最終インターフェースとしてロボットアームに取り付けられ、シリコンウェーハ、ガラスパネル、マイクロエレクトロニクス部品などの非常に繊細な部品のピッキング、保持、位置合わせ、搬送を担います。
このフォーク アームは超純粋アルミナ セラミック (Al2O3) から製造されており、金属汚染、塑性変形、粒子生成が許容されない環境に非常にクリーンで安定したソリューションを提供します。
材料特性 – アルミナを選ぶ理由
アルミナセラミックエンドエフェクターについて、アルミナ（Al2O3）は最も確立され、信頼性の高い材料の1つです。先進エンジニアリングセラミックス当社が使用するグレード（純度99.5%以上）は、物理的特性と化学的特性のユニークな組み合わせを備えており、半導体および真空用途に最適な材料です。
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極度の硬さ– モース硬度 9 で、耐久性と耐傷性に優れています。
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耐熱性– 1600°C を超えても構造的完全性を維持し、金属やポリマーの同等品よりも優れています。
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電気絶縁– 静電気の蓄積を排除し、完全な誘電体保護を提供します。
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化学物質耐性– 酸、アルカリ、プラズマガス、強力な洗浄液の影響を受けません。
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極めて低い汚染リスク– ガス放出がなく、摩擦が少ない表面により、クリーンルームでの粒子放出を最小限に抑えます。
これらの特性により、アルミナセラミックエンドエフェクタは、過酷な高精度環境でも完璧に動作することができます。
アルミナセラミックエンドエフェクタの主要用途
アルミナセラミックエンドエフェクタフォークアームは多用途であるため、さまざまなハイテク産業に不可欠なものとなっています。
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半導体ウェハ搬送システム– 微細な傷を付けずにシリコン ウェハをプロセスからプロセスへ安全に移動します。
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フラットパネルディスプレイ製造– OLED、LCD、またはマイクロLED製造用の壊れやすいガラス基板の取り扱い。
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太陽光発電（PV）製造– 高速ロボットサイクルによるソーラーウェーハのロードとアンロードをサポートします。
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光学および電子部品の組立– センサー、抵抗器、小型チップなどの繊細な部品を掴みます。
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真空およびクリーンルームの自動化– 超クリーンで粒子制御された環境で精密な作業を実行します。
あらゆるシナリオにおいて、アルミナセラミックエンドエフェクタは、ロボット自動化と移動される製品との間の重要なリンクを提供します。
アルミナセラミックエンドエフェクタの設計とカスタマイズオプション
生産ラインごとに要件は異なります。そのため、当社は、さまざまなウェハサイズ、ロボットシステム、ハンドリング方法に合わせてカスタマイズされたアルミナセラミックエンドエフェクターソリューションを提供しています。
ウェハー互換性: 2 インチから 12 インチまでのウェハーを処理し、カスタム部品に合わせて拡張できます。
形状オプション: シングルフォーク、デュアルフォーク、マルチスロット、または統合された凹部を備えたカスタム形状。
真空処理: 非接触型ウェーハ サポート用のオプションの真空吸引チャネル。
取り付けインターフェース: あらゆるロボットアームに適合するカスタムボルト穴、フランジ、またはスロット設計。
表面仕上げ: 研磨または超仕上げ表面 (Ra < 0.15 μm まで)。
エッジ プロファイル: ウェーハを最大限に保護するために面取りまたは丸みを帯びたエッジ。
当社のアルミナセラミックエンドエフェクタエンジニアリングチームは、顧客の CAD 図面またはサンプル部品に基づいて作業し、既存の自動化システムへのシームレスな統合を保証します。
アルミナセラミックエンドエフェクタの主な利点
| 特徴 | なぜそれが重要なのか |
|---|---|
| 寸法精度 | 高速繰り返しサイクルでも完璧な位置合わせを維持します。 |
| 非汚染 | 実質的に粒子を生成しないため、厳しいクリーンルーム要件を満たします。 |
| 耐熱性と耐腐食性 | 過酷な処理手順と熱衝撃に耐えます。 |
| 静電気なし | 敏感なウェハーやコンポーネントを静電気のリスクから保護します。 |
| 軽量だが剛性が高い | ロボットアームの負荷を損なうことなく高い剛性を実現します。 |
| 長寿命 | 寿命と信頼性において金属およびポリマーアームより優れています。 |
アルミナセラミックエンドエフェクタの材質比較
| 属性 | プラスチックフォークアーム | アルミニウム/金属フォークアーム | アルミナセラミックフォークアーム |
|---|---|---|---|
| 硬度 | 低い | 中くらい | 非常に高い |
| 温度範囲 | ≤ 150°C | ≤ 500°C | 1600℃まで |
| 化学的安定性 | 貧しい | 適度 | 素晴らしい |
| クリーンルーム評価 | 低い | 平均 | クラス100以上に最適 |
| 耐摩耗性 | 限定 | 良い | 並外れた |
| カスタマイズレベル | 適度 | 限定 | 広範囲にわたる |
アルミナセラミックエンドエフェクタに関するよくある質問（FAQ）
Q1: アルミナセラミックエンドエフェクタと金属エンドエフェクタの違いは何ですか?
A1:アルミナセラミックは、アルミニウムやスチール製のアームとは異なり、腐食や変形を起こさず、半導体プロセスに金属イオンを混入させることもありません。過酷な条件下でも寸法安定性を維持し、パーティクルの発生もほとんどありません。
Q2: これらのアルミナセラミックエンドエフェクタは、高真空チャンバーやプラズマチャンバーで使用できますか?
A2:はい。アルミナセラミックはガス放出なしプラズマ耐性にも優れているため、真空処理やエッチング装置に適した材料です。
Q3: これらのアルミナセラミックエンドエフェクタフォークアームはどの程度カスタマイズ可能ですか?
A3:すべてのユニットは完全にカスタマイズロボット システムの要件に合わせて、形状、スロット、吸引穴、取り付けスタイル、エッジ仕上げなどを自由に選択できます。
Q4: 壊れやすいですか?
A4:セラミックは本来脆い性質を持っていますが、当社の設計技術は荷重を均等に分散し、応力点を最小限に抑えます。適切に取り扱うことで、金属やポリマーの代替品よりも優れた耐用年数を実現できます。
私たちについて
XKHは、特殊光学ガラスおよび新結晶材料のハイテク開発、生産、販売を専門としています。当社の製品は、光エレクトロニクス、コンシューマーエレクトロニクス、軍事用途に使用されています。サファイア光学部品、携帯電話レンズカバー、セラミック、LT、シリコンカーバイド（SiC）、石英、半導体結晶ウェハなどを提供しています。熟練した専門知識と最先端の設備を駆使し、非標準製品の加工にも卓越した技術力を発揮し、光電子材料のハイテク企業として世界をリードすることを目指しています。
