カスタマイズされた形状のサファイア光学窓精密研磨されたサファイア部品
技術的パラメータ
サファイアウィンドウ | |
寸法 | 8-400mm |
寸法公差 | +0/-0.05mm |
表面品質(傷・汚れ) | 40/20 |
表面精度 | λ/10/633nm |
クリアアパーチャ | >85%、>90% |
並列許容度 | ±2インチ~±3インチ |
ベベル | 0.1~0.3mm |
コーティング | AR/AF/お客様のご要望に応じて |
主な特徴
1.素材の優位性
· 優れた熱特性:熱伝導率は35 W/m·K(100℃)で、熱膨張係数は5.3×10⁻⁶/Kと低く、急激な温度変化下でも光学的な歪みを抑制します。1000℃から室温への数秒以内の熱衝撃下においても、構造的な完全性を維持します。
· 化学的安定性: 長時間、濃酸 (HF を除く) およびアルカリ (pH 1-14) にさらされても劣化が見られないため、化学処理装置に最適です。
· 光学的改良: 高度な C 軸結晶成長により、可視スペクトル (400 ~ 700 nm) で 85% を超える透過率と 0.1%/cm 未満の散乱損失を実現します。
· オプションの超半球状研磨により、1064nm で表面反射が表面あたり 0.2% 未満に低減します。
2.精密エンジニアリング能力
· ナノスケール表面制御: 磁性レオロジー仕上げ (MRF) を利用して、1064nm、10ns パルスで LIDT が 10J/cm² を超える高出力レーザー アプリケーションにとって重要な、0.3nm Ra 未満の表面粗さを実現します。
· 複雑な形状の製造: 5 軸超音波加工を組み込んで、マイクロ流体チャネル (幅許容誤差 50 μm) と <100 nm の特徴解像度を持つ回折光学素子 (DOE) を作成します。
· 計測統合: 白色光干渉法と原子間力顕微鏡 (AFM) を組み合わせて 3D 表面特性評価を行い、200 mm 基板全体で 100 nm PV 未満の形状精度を保証します。
主な用途
1.防衛システムの強化
· 極超音速機ドーム:マッハ5以上の空力熱負荷に耐えながら、シーカーヘッドのMWIR透過率を維持するよう設計されています。特殊なナノコンポジットエッジシールにより、15Gの振動負荷下でも層間剥離を防止します。
· 量子センシング プラットフォーム: 超低複屈折 (<5nm/cm) バージョンにより、潜水艦探知システムにおける高精度の磁気測定が可能になります。
2.産業プロセスイノベーション
· 半導体極端紫外線リソグラフィー: 表面粗さが 0.01nm 未満のグレード AA 研磨ウィンドウにより、ステッパー システムにおける EUV (13.5nm) 散乱損失が最小限に抑えられます。
· 原子炉モニタリング:中性子透過型(Al₂O₃ 同位体精製)により、第 4 世代原子炉の炉心部をリアルタイムで視覚的にモニタリングできます。
3.新興技術の統合
· 宇宙ベースの光通信: 放射線耐性を強化したバージョン (1Mrad のガンマ線照射後) は、LEO 衛星のレーザー クロスリンクに対して 80% を超える透過率を維持します。
· バイオフォトニクス インターフェース: バイオ不活性表面処理により、継続的な血糖値モニタリングのための埋め込み型ラマン分光ウィンドウが可能になります。
4.先進エネルギーシステム
· 核融合炉診断: 多層導電性コーティング (ITO-AlN) は、トカマク設備におけるプラズマ観察と EMI シールドの両方を実現します。
· 水素インフラストラクチャ: 極低温グレード (20K までテスト済み) は、液体 H₂ ストレージ ビューポートでの水素脆化を防止します。
XKHのサービスと供給能力
1.カスタム製造サービス
· 図面ベースのカスタマイズ: 非標準設計 (1 mm ~ 300 mm の寸法)、20 日以内の迅速な納品、4 週間以内の初回のプロトタイプ作成をサポートします。
· コーティング ソリューション: 反射防止 (AR)、防汚 (AF)、および波長特定コーティング (UV/IR) により反射損失を最小限に抑えます。
· 精密研磨とテスト: 原子レベルの研磨により 0.5 nm 以下の表面粗さを実現し、干渉法によって λ/10 平坦度コンプライアンスを保証します。
2.サプライチェーンと技術サポート
· 垂直統合: 結晶成長 (チョクラルスキー法) から切断、研磨、コーティングまでの完全なプロセス制御により、材料の純度 (空隙/境界なし) とバッチの一貫性を保証します。
· 業界コラボレーション: 航空宇宙関連企業の認定を受け、CAS と提携して国内代替用の超格子ヘテロ構造を開発しました。
3.製品ポートフォリオと物流
· 標準在庫: 6 インチから 12 インチのウェーハ フォーマット。単価 43 から 82 (サイズ/コーティングにより異なります)、即日発送。
· アプリケーション固有の設計に関する技術コンサルティング(例:真空チャンバー用の段付き窓、耐熱衝撃構造)。

