直径50.8mmサファイアウエハーサファイアウィンドウ高光透過率DSP/SSP

サファイア（Al2O3）ウェハは、格子不整合が少なく、化学的・物理的特性が安定していることから、III-V族窒化物、超伝導体、磁性エピフィルムの基板として広く用いられています。GaNや薄膜エピタキシャル成長、サファイア基板上シリコン、LED市場、光学産業などで広く使用されています。

製品詳細

単結晶サファイアの特徴
1. サファイアは光透過率が高いため、マイクロエレクトロニクスチューブの誘電体材料、超音波伝導素子、導波管レーザーキャビティなどの光学素子、赤外線軍事機器、宇宙船、高強度レーザー、光通信の窓材料として広く使用されています。

2. サファイアは、高剛性、高強度、高動作温度、耐摩耗性、耐腐食性の特性を備えているため、サファイア基板は、ボイラー水位計（耐高温性）、商品バーコードスキャナー、ベアリング、その他の精密製造（耐摩耗性）、石炭、ガス、井戸検出センサー、検出器ウィンドウ（耐腐食性）など、過酷な環境でよく使用されます。

3. サファイアは、電気絶縁性、透明性、良好な熱伝導性、高剛性などの特性を備えているため、LEDやマイクロ電子回路、超高速集積回路などの集積回路の基板材料として使用できます。

直径	50.8mm +/-0.1mm または +/-0.02mm
厚さ	0.43mm±0.1mmまたは+/-0.02mm
オリエンテーション	C面/A面/M面/R面
表面品質（傷と凹み）	60/40、40/20以上
表面精度	λ/10、λ/2、λ
クリアアパーチャ	>85%、>90%
並列処理	+/-3フィート、+/-30インチ
ベベル	0.1～0.3mm×45度
コーティング	AR、BBAR、または顧客の要求に応じて（UV、VIS、IR）

いいえ	プロパティ	ターゲット	許容範囲	備考
1	直径	50.8mm	±0.1mm
2	厚さ	430μm	±15μm
3	C面の面方位	C軸からM0.2°	± 0.1°
4	プライマリフラット長さ	16mm	±11mm
5	主な平面方向	A面(11-20)	±0.1°
6	裏面の粗さ	0.8～1.2μm
7	前面の粗さ	<0.3nm
8	ウェーハエッジ	R型
9	総厚さ変動、TTV	≤ 10μm（LTV≤5μm、5*5）
10	ソリ	≤10μm
11	弓	-10 μm ≤ BOW ≤ 0
12	レーザーマーク	該当なし		持っていない
	パッケージ	1つのカセットに25枚のウェハー
	トレース能力	ウェーハはカセット番号に関して追跡可能でなければならない