Siウェーハ/光学ガラス材料切断用ダイヤモンドワイヤ3ステーションシングルワイヤ切断機

簡単な説明:

ダイヤモンドワイヤ3ステーションシングルワイヤ切断機は、サファイア、翡翠、セラミックなどの脆性材料を効率的にスクエア加工するために設計された精密加工装置です。切断媒体として連続ダイヤモンドコーティング鋼ワイヤを使用し、独立して区画された3つのワークステーションにより、同期切断、ワイヤ送り出し/巻き取り、張力制御が可能です。サーボモーターがワイヤの往復運動を駆動し、閉ループフィードバックシステムが張力を動的に調整(±0.5Nの精度)することで、ワイヤ消費量を最小限に抑え(<0.1%)、プロセスの安定性を確保します。切断ゾーンは作業エリアから物理的に分離されており、オープンアクセスのメンテナンスインターフェースを備えているため、ワイヤ交換(最大長≤150m)やコンポーネント(ガイドホイール、テンションプーリーなど)を迅速に行うことができます。主な仕様は、ワークピースサイズ600×600mm、切断速度400〜1200mm/h、厚さ容量0〜800mm、総電力≤23kWで、半導体基板、光学結晶、新エネルギー材料の高精度スライスに最適です。


特徴

製品紹介

ダイヤモンドワイヤ3ステーションシングルワイヤ切断機は、硬脆材料向けに設計された高精度・高効率の切断装置です。ダイヤモンドワイヤを切削媒体として用い、シリコンウェーハ、サファイア、炭化ケイ素(SiC)、セラミックス、光学ガラスなどの高硬度材料の精密加工に適しています。3ステーション設計を採用した本機は、1台の装置で複数のワークピースを同時に切断できるため、生産効率を大幅に向上させ、製造コストを削減します。

動作原理

  1. ダイヤモンドワイヤ切断:電気メッキまたは樹脂結合ダイヤモンドワイヤを使用し、高速往復運動による研削ベースの切断を実行します。
  2. 3 ステーション同期切断: 3 つの独立したワークステーションを装備し、3 つのピースを同時に切断してスループットを向上させます。
  3. 張力制御:高精度の張力制御システムを組み込んでおり、切断中に安定したダイヤモンドワイヤの張力を維持し、精度を保証します。
  4. 冷却および潤滑システム: 脱イオン水または特殊な冷却剤を使用して、熱による損傷を最小限に抑え、ダイヤモンドワイヤの寿命を延ばします。

 

ダイヤモンドワイヤートリプルステーションシングルワイヤー切断機5

機器の特徴

  • 高精度切断:±0.02mmの切断精度を実現し、極薄ウェハ加工(例:太陽光発電シリコンウェハ、半導体ウェハ)に最適です。
  • 高効率: 3 ステーション設計により、単一ステーションのマシンと比較して生産性が 200% 以上向上します。
  • 材料の無駄が少ない: 狭い切り口の設計 (0.1~0.2 mm) により、材料の無駄が削減されます。
  • 高度な自動化: 自動ローディング、アライメント、切断、およびアンローディング システムを備えており、手動による介入を最小限に抑えます。
  • 高い適応性: 単結晶シリコン、多結晶シリコン、サファイア、SiC、セラミックなど、さまざまな硬くて脆い材料を切断できます。

 

ダイヤモンドワイヤートリプルステーションシングルワイヤー切断機6

技術的な利点

アドバンテージ

 

説明

 

マルチステーション同期切断

 

独立して制御される 3 つのステーションにより、異なる厚さや材質のワークピースの切断が可能になり、設備の利用率が向上します。

 

インテリジェントテンションコントロール

 

サーボモーターとセンサーによる閉ループ制御により、一定のワイヤ張力が確保され、破損や切断のずれを防止します。

 

高剛性構造

 

高精度のリニアガイドとサーボ駆動システムにより、安定した切断が保証され、振動の影響が最小限に抑えられます。

 

エネルギー効率と環境への配慮

 

従来のスラリー切断と比較すると、ダイヤモンドワイヤー切断は汚染がなく、冷却剤をリサイクルできるため、廃棄物処理コストを削減できます。

 

インテリジェントモニタリング

 

PLC とタッチスクリーン制御システムを備え、切断速度、張力、温度などのパラメータをリアルタイムで監視し、データのトレーサビリティをサポートします。

技術仕様

モデル 3ステーションダイヤモンドシングルラインカッティングマシン
最大ワークサイズ 600×600mm
ワイヤー走行速度 1000(ミックス)m/分
ダイヤモンドワイヤ径 0.25~0.48mm
供給ホイールのラインストレージ容量 20キロ
切断厚さ範囲 0~600mm
切断精度 0.01mm
ワークステーションの垂直昇降ストローク 800mm
切断方法 材料は静止しており、ダイヤモンドワイヤーは揺れながら下降する
切削送り速度 0.01~10mm/分(材質・厚さにより異なります)
水タンク 150L
切削液 防錆高効率切削液
スイング角度 ±10°
スイングスピード 25°/秒
最大切断張力 88.0N(最小単位0.1nを設定)
切削深さ 200~600mm
お客様の切断範囲に応じて対応する接続プレートを作成します -
ワークステーション 3
電源 三相5線式AC380V/50Hz
工作機械の総出力 ≤32kW
メインモーター 1*2kW
配線モーター 1*2kW
作業台スイングモーター 0.4*6kW
張力制御モーター 4.4*2kW
ワイヤー解放・回収モーター 5.5*2kW
外形寸法(ロッカーアームボックスを除く) 4859*2190*2184mm
外形寸法(ロッカーアームボックスを含む) 4859*2190*2184mm
機械重量 3600ka

応用分野

  1. 太陽光発電産業: 単結晶および多結晶シリコンインゴットをスライスしてウェーハの歩留まりを向上します。
  2. 半導体産業: SiC および GaN ウェハの精密切断。
  3. LED 業界: LED チップ製造用のサファイア基板の切断。
  4. 先端セラミックス: アルミナや窒化ケイ素などの高性能セラミックスの成形と切断。
  5. 光学ガラス: カメラレンズや赤外線ウィンドウ用の超薄ガラスの精密加工。

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