6インチ/8インチPOD/FOSB光ファイバー接続ボックス配送ボックス収納ボックスRSPリモートサービスプラットフォームFOUPフロントオープニングユニファイドポッド
詳細図
FOSBの概要
そのFOSB（フロントオープニングシッピングボックス）300mm半導体ウェーハの安全な輸送と保管のために特別に設計された、精密工学に基づいたフロントオープンコンテナです。ファブ間搬送や長距離輸送においてウェーハを保護する上で重要な役割を果たし、最高レベルの清浄度と機械的完全性を維持します。
超クリーンで静電気を拡散する材料を使用し、SEMI規格に準拠して設計されたFOSBは、粒子汚染、静電気放電、物理的衝撃に対する優れた保護性能を備えています。世界中の半導体製造、物流、OEM/OSATパートナーシップにおいて広く利用されており、特に300mmウェーハファブの自動化生産ラインで広く使用されています。
FOSBの構造と材質
一般的な FOSB ボックスは複数の精密部品で構成されており、すべて工場の自動化とシームレスに連携してウェハの安全性を確保するように設計されています。
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本体: PC(ポリカーボネート)やPEEKなどの高純度エンジニアリングプラスチックから成形されており、高い機械的強度、低パーティクル発生、耐薬品性を備えています。
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前面開閉ドア: 完全な自動化互換性を実現するように設計されており、輸送中の空気交換を最小限に抑える密閉ガスケットを備えています。
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内部レチクル/ウェーハトレイ最大25枚のウェハを安全に保持します。トレイは静電気防止加工とクッション加工が施されており、ウェハのずれ、エッジの欠け、傷を防ぎます。
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ラッチ機構: 安全ロック システムにより、輸送中および取り扱い中にドアが閉じられた状態を維持します。
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トレーサビリティ機能多くのモデルには、物流チェーン全体での完全な MES 統合と追跡を可能にする埋め込み RFID タグ、バーコード、または QR コードが含まれています。
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ESD制御: この材料は静電気を拡散し、通常、表面抵抗が 10⁶ ～ 10⁹ オームの範囲にあるため、ウェハを静電気放電から保護するのに役立ちます。
これらのコンポーネントはクリーンルーム環境で製造されており、E10、E47、E62、E83 などの国際 SEMI 規格を満たしているかそれを上回っています。
主な利点
● 高レベルのウェーハ保護
FOSB は、ウェハを物理的な損傷や環境汚染物質から保護するために構築されています。
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完全に密閉されたシステムにより、湿気、化学蒸気、空気中の粒子を遮断します。
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防振内部により、機械的衝撃や微小亀裂のリスクが軽減されます。
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堅固な外殻は、落下の衝撃や物流中の積み重ね圧力に耐えます。
● 完全自動化対応
FOSB は AMHS (自動材料処理システム) で使用するために設計されています。
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SEMI 準拠のロボット アーム、ロード ポート、ストッカー、オープナーと互換性があります。
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フロントオープン機構は標準の FOUP およびロードポート システムと連携し、シームレスな工場自動化を実現します。
●クリーンルーム対応設計
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超クリーンでガス放出の少ない材料から製造されています。
洗浄と再利用が簡単で、クラス 1 以上のクリーンルーム環境に適しています。
重金属イオンを含まないため、ウェハ搬送中に汚染が発生しません。
● インテリジェントな追跡とMES統合
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オプションの RFID/NFC/バーコード システムにより、ファブ間の完全な追跡可能性が実現します。
各 FOSB は、MES または WMS システム内で一意に識別および追跡できます。
プロセスの透明性、バッチ識別、在庫管理をサポートします。
FOSBボックス – 複合仕様表
| カテゴリ | アイテム | 価値 |
|---|---|---|
| 材料 | ウェーハコンタクト | ポリカーボネート |
| 材料 | シェル、ドア、ドアクッション | ポリカーボネート |
| 材料 | リアリテーナー | ポリブチレンテレフタレート |
| 材料 | ハンドル、オートフランジ、情報パッド | ポリカーボネート |
| 材料 | ガスケット | 熱可塑性エラストマー |
| 材料 | KCプレート | ポリカーボネート |
| 仕様 | 容量 | ウエハース25枚 |
| 仕様 | 深さ | 332.77 mm ±0.1 mm (13.10インチ ±0.005インチ) |
| 仕様 | 幅 | 389.52 mm ±0.1 mm (15.33インチ ±0.005インチ) |
| 仕様 | 身長 | 336.93 mm ±0.1 mm (13.26インチ ±0.005インチ) |
| 仕様 | 2パックの長さ | 680 mm（26.77インチ） |
| 仕様 | 2パック幅 | 415 mm（16.34インチ） |
| 仕様 | 2パックの高さ | 365 mm（14.37インチ） |
| 仕様 | 重量（空） | 4.6 kg (10.1 ポンド) |
| 仕様 | 重量（フル） | 7.8 kg (17.2 ポンド) |
| ウェーハ互換性 | ウェハサイズ | 300ミリメートル |
| ウェーハ互換性 | ピッチ | 10.0 mm（0.39インチ） |
| ウェーハ互換性 | 飛行機 | 公称値から±0.5 mm（0.02インチ） |
アプリケーションシナリオ
FOSBは300mmウェーハの物流と保管に不可欠なツールであり、以下のシナリオで広く採用されています。
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ファブ間転送: 異なる半導体製造施設間でウェハを移動します。
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鋳造所への配送完成したウェハを製造工場から顧客またはパッケージング施設に輸送します。
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OEM/OSAT物流: アウトソーシングされたパッケージングおよびテストプロセスにおいて。
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サードパーティの保管および倉庫: 貴重なウエハーを長期または一時的に安全に保管します。
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内部ウェーハ搬送: 遠隔製造モジュールが AMHS または手動輸送を介して接続されている大規模なファブ キャンパス内。
世界的なサプライ チェーンの運用において、FOSB は高価値のウェハ輸送の標準となり、大陸をまたがる汚染のない配送を保証します。
FOSB と FOUP – 違いは何ですか?
| 特徴 | FOSB（フロントオープニングシッピングボックス） | FOUP（フロントオープニングユニファイドポッド） |
|---|---|---|
| 主な用途 | ファブ間ウェハ輸送と物流 | ファブ内ウェーハ搬送と自動処理 |
| 構造 | 保護性能を強化した堅牢な密閉容器 | 内部自動化に最適化された再利用可能なポッド |
| 気密性 | 高い密閉性能 | 簡単にアクセスできるように設計されており、気密性が低い |
| 使用頻度 | 中（安全な長距離輸送に重点を置く） | 自動化生産ラインにおける高頻度 |
| ウェーハ容量 | 通常、1箱あたり25枚のウエハース | 通常、ポッドあたり25枚のウェハ |
| 自動化サポート | FOSBオープナーと互換性あり | FOUPロードポートと統合 |
| コンプライアンス | セミE47、E62 | SEMI E47、E62、E84など |
どちらもウェーハ物流において重要な役割を果たしますが、FOSB は工場間または外部顧客への堅牢な出荷を目的として構築されているのに対し、FOUP は自動化された生産ラインの効率性に重点を置いています。
よくある質問（FAQ）
Q1: FOSB は再利用できますか?
はい。高品質のFOSBは繰り返し使用できるように設計されており、適切なメンテナンスを行えば、数十回の洗浄と取り扱いサイクルに耐えることができます。認定ツールを使用した定期的な洗浄をお勧めします。
Q2: FOSB をブランディングや追跡用にカスタマイズできますか?
はい、もちろんです。FOSB は、クライアントのロゴ、特定の RFID タグ、防湿シール、さらには物流管理を容易にするためのさまざまな色分けなどでカスタマイズできます。
Q3: FOSB はクリーンルーム環境に適していますか?
はい。FOSBはクリーングレードのプラスチックで製造され、パーティクルの発生を防ぐために密閉されています。クラス1からクラス1000のクリーンルーム環境や重要な半導体ゾーンに適しています。
Q4: 自動化中に FOSB はどのように開かれますか?
FOSB は、手動で接触することなく前面ドアを取り外す専用の FOSB オープナーと互換性があり、クリーンルームの状態の完全性を維持します。
私たちについて
XKHは、特殊光学ガラスおよび新結晶材料のハイテク開発、生産、販売を専門としています。当社の製品は、光エレクトロニクス、コンシューマーエレクトロニクス、軍事用途に使用されています。サファイア光学部品、携帯電話レンズカバー、セラミック、LT、シリコンカーバイド（SiC）、石英、半導体結晶ウェハなどを提供しています。熟練した専門知識と最先端の設備を駆使し、非標準製品の加工にも卓越した技術力を発揮し、光電子材料のハイテク企業として世界をリードすることを目指しています。
