半導体、フォトニクス光学用途向け高純度溶融石英ウエハー 2″4″6″8″12″

石英ウエハーは、今日のデジタル世界を支える無数の最新デバイスのバックボーンを形成しています。スマートフォンのナビゲーションから5G基地局のバックボーンまで、石英は高性能エレクトロニクスとフォトニクスに求められる安定性、純度、そして精度を静かに実現しています。フレキシブル回路のサポート、MEMSセンサーの実現、量子コンピューティングの基盤形成など、石英の独自の特性は、あらゆる産業に不可欠な存在となっています。

「フューズドシリカ」または「フューズドクォーツ」は、石英（SiO2）の非晶質相です。ホウケイ酸ガラスとは異なり、フューズドシリカには添加物がないため、純粋なSiO2として存在します。フューズドシリカは、通常のガラスと比較して、赤外線および紫外線スペクトルの透過率が高くなります。フューズドシリカは、超高純度SiO2を溶融・再固化させることで製造されます。一方、合成フューズドシリカは、SiCl4などのシリコンを豊富に含む化学前駆体をガス化し、H2 + O2雰囲気下で酸化させることで製造されます。この際に生成されるSiO2の粉末は、基板上でシリカに融合されます。フューズドシリカブロックはウェーハ状に切断され、最終的にウェーハは研磨されます。