インジウムアンチモン(InSb)ウェハ N型 P型 エピ準備済み 未ドープ TeドープまたはGeドープ 2インチ 3インチ 4インチ厚 インジウムアンチモン(InSb)ウェハ
特徴
ドーピングのオプション:
1.ドーピングなし:これらのウェーハにはドーピング剤が一切含まれていないため、エピタキシャル成長などの特殊な用途に最適です。
2.Teドープ(N型)テルル (Te) ドーピングは、赤外線検出器や高速電子機器などの用途に最適な N 型ウェーハの作成によく使用されます。
3.Geドープ(P型):ゲルマニウム (Ge) ドーピングは P 型ウェーハの作成に使用され、高度な半導体アプリケーション向けに高い正孔移動度を実現します。
サイズオプション:
1. 直径2インチ、3インチ、4インチのウェハをご用意しています。これらのウェハは、研究開発から大規模製造まで、さまざまな技術ニーズに対応します。
2. 直径公差が50.8±0.3mm(2インチウェーハの場合)、76.2±0.3mm(3インチウェーハの場合)と精密なので、バッチ間の一貫性が保証されます。
厚さコントロール:
1. ウェーハは、さまざまなアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮するために、500±5μmの厚さで提供されます。
2. TTV (Total Thickness Variation)、BOW、Warp などの追加の測定値が慎重に管理され、高い均一性と品質が確保されます。
表面品質:
1. ウェーハの表面は研磨/エッチングされており、光学的および電気的性能が向上しています。
2.これらの表面はエピタキシャル成長に最適で、高性能デバイスにおけるさらなる処理のための滑らかな基盤を提供します。
エピレディ:
1. InSbウェハはエピタキシャル成長プロセス用の前処理が施されており、エピレディです。そのため、ウェハ上にエピタキシャル層を成長させる必要がある半導体製造用途に最適です。
アプリケーション
1.赤外線検出器:InSbウェハは、赤外線(IR)検出、特に中波長赤外線(MWIR)領域で広く使用されています。これらのウェハは、暗視、熱画像、赤外線分光法などの用途に不可欠です。
2.高速エレクトロニクス:InSb ウェハは電子移動度が高いため、高周波トランジスタ、量子井戸デバイス、高電子移動度トランジスタ (HEMT) などの高速電子デバイスに使用されます。
3.量子井戸デバイス:狭いバンドギャップと優れた電子移動度により、InSbウェハは量子井戸デバイスに適しています。これらのデバイスは、レーザー、検出器、その他の光電子システムの主要部品です。
4.スピントロニクスデバイス:InSbは、電子スピンを情報処理に利用するスピントロニクス用途でも研究されています。この材料はスピン軌道相互作用が低いため、こうした高性能デバイスに最適です。
5.テラヘルツ(THz)放射の応用:InSbベースのデバイスは、科学研究、イメージング、材料特性評価などのTHz放射アプリケーションに利用されています。THz分光法やTHzイメージングシステムといった高度な技術を可能にします。
6.熱電デバイス:InSb は、そのユニークな特性により、熱電用途に魅力的な材料となっています。特に宇宙技術や極限環境での発電などのニッチな用途では、熱を効率的に電気に変換するために使用できます。
製品パラメータ
パラメータ | 2インチ | 3インチ | 4インチ |
直径 | 50.8±0.3mm | 76.2±0.3mm | - |
厚さ | 500±5μm | 650±5μm | - |
表面 | 研磨/エッチング | 研磨/エッチング | 研磨/エッチング |
ドーピングの種類 | 未ドープ、Teドープ(N)、Geドープ(P) | 未ドープ、Teドープ(N)、Geドープ(P) | 未ドープ、Teドープ(N)、Geドープ(P) |
オリエンテーション | (100) | (100) | (100) |
パッケージ | シングル | シングル | シングル |
エピレディ | はい | はい | はい |
Teドープ(N型)の電気的パラメータ:
- モビリティ: 2000~5000 cm²/V·s
- 抵抗率: (1-1000) Ω·cm
- EPD(欠陥密度): ≤2000欠陥/cm²
Geドープ(P型)の電気的パラメータ:
- モビリティ: 4000~8000 cm²/V·s
- 抵抗率: (0.5-5) Ω·cm
- EPD(欠陥密度): ≤2000欠陥/cm²
結論
インジウムアンチモン(InSb)ウェハは、エレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、赤外線技術分野における幅広い高性能アプリケーションに不可欠な材料です。優れた電子移動度、低いスピン軌道相互作用、そして多様なドーピングオプション(N型:Te、P型:Ge)を備えたInSbウェハは、赤外線検出器、高速トランジスタ、量子井戸デバイス、スピントロニクスデバイスなどのデバイスに最適です。
ウェーハは様々なサイズ(2インチ、3インチ、4インチ)で提供されており、精密な厚さ制御とエピタキシャル成長可能な表面により、現代の半導体製造における厳しい要求を確実に満たします。これらのウェーハは、赤外線検出、高速エレクトロニクス、テラヘルツ放射などの分野に最適であり、研究、産業、防衛における先進技術の実現を可能にします。
詳細図



