工業用SiC垂直炉管 高熱伝導性と耐腐食性
詳細図
シリコンカーバイド垂直炉管 - 製品概要
石英ガラス板（フューズドシリカ板またはクォーツ板とも呼ばれる）は、高純度二酸化ケイ素（SiO₂）から作られた高度に特殊化された材料です。これらの透明で耐久性のあるシートは、優れた光学的透明性、耐熱性、そして化学的安定性が高く評価されています。その優れた特性により、石英ガラス板は半導体、光学、フォトニクス、太陽エネルギー、冶金、高度な研究用途など、様々な業界で広く使用されています。
当社の石英ガラスシートは、天然水晶や合成シリカなどの最高級の原材料を使用し、精密な溶解・研磨技術を用いて製造されています。その結果、極めて平坦で、不純物が少なく、気泡のない表面が実現し、現代の工業プロセスの最も厳しい要件を満たしています。
主な特徴
一体型3Dプリント構造
継ぎ目と応力集中部を排除し、機械的強度と信頼性を最大限に高めます。
超低不純物
ベース素材300ppm; CVDコーティング表面5ppm汚染を最小限に抑えて超クリーンな処理を実現します。
高い熱伝導率
高速で均一な熱伝達により、正確な温度制御とウェーハ全体の厳密な均一性を実現します。
優れた耐熱衝撃性
ひび割れなく頻繁な高温/低温サイクルに耐えられるため、耐用年数が延び、メンテナンスの手間が省けます。
優れた耐腐食性
CVD SiC 表面は、攻撃的な化学物質やさまざまな雰囲気から保護し、長期安定性を実現します。
アプリケーション
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半導体：酸化、拡散、アニーリングなど、厳密な温度均一性と清浄度が求められるあらゆるステップ。
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太陽光発電:安定した再現性のある結果をもたらすウェーハテクスチャリング、拡散、パッシベーション。
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先端材料と熱処理：研究開発および生産設備のための均一な高温環境。
よくある質問
Q1: 主な用途は?
A:半導体、太陽光発電、先進材料プロセス（拡散、酸化、アニーリング、パッシベーションなど）では、雰囲気と温度の均一性が歩留まりに影響します。
Q2: 最高動作温度は?
A:評価≤ 1300℃; 典型的な連続運転は約1200℃優れた構造安定性を備えています。
Q3: 石英管やアルミナ管と比べるとどうですか?
A:SiC は、より高い耐熱性、はるかに優れた熱伝導性、優れた耐熱衝撃性、長い耐用年数、そして著しく低い不純物レベルを備えており、現代の半導体や PV の要件に最適です。
私たちについて
XKHは、特殊光学ガラスおよび新結晶材料のハイテク開発、生産、販売を専門とする企業です。製品は、光エレクトロニクス、コンシューマーエレクトロニクス、軍事分野など多岐にわたります。サファイア光学部品、携帯電話レンズカバー、セラミックス、LT、シリコンカーバイド（SiC）、石英、半導体結晶ウェハなどを提供しています。熟練した専門知識と最先端の設備を駆使し、非標準製品の加工にも強みを発揮し、光電子材料のハイテク企業として世界をリードすることを目指しています。
