JGS1、JGS2、JGS3 溶融シリカ光学ガラス

簡単な説明:

「フューズドシリカ」または「フューズドクォーツ」は、石英（SiO2）の非晶質相です。ホウケイ酸ガラスとは異なり、フューズドシリカには添加物がないため、純粋なSiO2として存在します。フューズドシリカは、通常のガラスと比較して、赤外線および紫外線スペクトルの透過率が高くなります。フューズドシリカは、超高純度SiO2を溶融・再固化させることで製造されます。一方、合成フューズドシリカは、SiCl4などのシリコンを豊富に含む化学前駆体をガス化し、H2 + O2雰囲気下で酸化させることで製造されます。この際に生成されるSiO2の粉末は、基板上でシリカに融合されます。フューズドシリカブロックはウェーハ状に切断され、最終的にウェーハは研磨されます。

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特徴

詳細図

JGS1、JGS2、JGS3フューズドシリカの概要

JGS1、JGS2、JGS3は、それぞれ特定の光学スペクトル領域向けに設計された、精密に設計された3種類のフューズドシリカグレードです。超高純度シリカを高度な溶融プロセスで製造されたこれらの材料は、卓越した光学的透明性、低い熱膨張率、そして卓越した化学的安定性を備えています。

JGS1– 深紫外線透過に最適化された UV グレードのフューズドシリカ。
JGS2– 可視から近赤外線までの用途に適した光学グレードのフューズドシリカ。
JGS3– 赤外線性能が強化された IR グレードのフューズドシリカ。

適切なグレードを選択することで、エンジニアは要求の厳しい光学システムに最適な透過率、耐久性、安定性を実現できます。

JGS1、JGS2、JGS3のグレード

JGS1 フューズドシリカ – UVグレード

伝送範囲:185～2500 nm
主な強み:深紫外線波長における優れた透明性。

JGS1フューズドシリカは、不純物レベルを厳密に管理した高純度合成シリカを用いて製造されています。250nm以下の波長において高い透過率、極めて低い自己蛍光、そして優れたソラリゼーション耐性を備え、UVシステムにおいて卓越した性能を発揮します。

JGS1 のパフォーマンスハイライト:

200 nm から可視範囲までの透過率は 90% 以上です。
ヒドロキシル (OH) 含有量が低いため、紫外線吸収を最小限に抑えます。
エキシマレーザーに適した高いレーザー損傷閾値。
最小限の蛍光で正確な UV 測定を実現します。

一般的な用途:

フォトリソグラフィー投影光学系。
エキシマレーザーウィンドウとレンズ（193 nm、248 nm）。
UV 分光計および科学機器。
UV検査のための高精度計測。

JGS2 フューズドシリカ – 光学グレード

伝送範囲:220～3500 nm
主な強み:可視光線から近赤外線までバランスのとれた光学性能。

JGS2は、可視光および近赤外光（NIR）性能が重要となる汎用光学システム向けに設計されています。中程度のUV透過率を持ちながらも、その主な価値は光学均一性、低い波面歪み、そして優れた耐熱性にあります。

JGS2 のパフォーマンスハイライト:

VIS-NIR スペクトル全体にわたって高い透過率。
柔軟なアプリケーション向けに、最低約 220 nm までの UV 機能を備えています。
熱衝撃および機械的ストレスに対する優れた耐性。
複屈折が最小限で屈折率が均一です。

一般的な用途:

精密撮像光学系。
可視光線および近赤外線波長用のレーザーウィンドウ。
ビームスプリッター、フィルター、プリズム。
顕微鏡および投影システム用の光学部品。

JGS3 フューズドシリカ – IR

学年

伝送範囲:260～3500 nm
主な強み:OH 吸収が低く、赤外線透過率が最適化されています。

JGS3フューズドシリカは、製造工程における水酸基含有量を低減することで、赤外線透過率を最大限に高めるように設計されています。これにより、赤外線アプリケーションにおける性能低下の原因となる、約2.73μmおよび約4.27μmの吸収ピークが最小限に抑えられます。

JGS3 のパフォーマンスハイライト:

JGS1 および JGS2 に比べて優れた IR 透過率。
OH 関連の吸収損失が最小限に抑えられます。
優れた熱サイクル耐性。
高温環境下でも長期安定性。

一般的な用途:

IR 分光キュベットとウィンドウ。
熱画像とセンサー光学系。
過酷な環境における IR 保護カバー。
高温プロセス用の工業用ビューイングポート。

JGS1、JGS2、JGS3の主な比較データ

アイテム	JGS1	JGS2	JGS3
最大サイズ	<Φ200mm	<Φ300mm	<Φ200mm
トランスミッションレンジ（中速変速比）	0.17～2.10um（平均>90%）	0.26～2.10um（平均>85%）	0.185～3.50um（平均>85%）
OH-含有量	1200ppm	150ppm	5ppm
蛍光（例：254nm）	実質的に無料	強い動詞	強力なVB
不純物含有量	5ppm	20～40 ppm	40～50ppm
複屈折定数	2～4 nm/cm	4～6 nm/cm	4～10 nm/cm
溶解法	合成CVD	酸素水素溶融	電気溶解
アプリケーション	レーザー基板: ウィンドウ、レンズ、プリズム、ミラー...	半導体と高温窓	赤外線と紫外線基板

FAQ – JGS1、JGS2、JGS3フューズドシリカ

Q1: JGS1、JGS2、JGS3 の主な違いは何ですか?
A:

JGS1– 185 nm からの優れた透過率を備えた UV グレードのフューズドシリカ。深紫外線光学系やエキシマレーザーに最適です。
JGS2– 可視から近赤外（220～3500 nm）用途向けの光学グレードのフューズドシリカで、汎用光学系に適しています。
JGS3– OH 吸収ピークを低減した赤外線 (260～3500 nm) 向けに最適化された IR グレードのフューズドシリカ。

Q2: どのグレードを申請すればいいですか?
A:

選ぶJGS1UVリソグラフィー、UV分光法、または193 nm/248 nmレーザーシステム用。
選ぶJGS2可視/近赤外イメージング、レーザー光学、測定デバイス向け。
選ぶJGS3IR 分光法、熱画像法、または高温観察ウィンドウ用。

Q3: JGSグレードの体力はどれも同じですか？
A:はい。JGS1、JGS2、JGS3はすべて高純度フューズドシリカで作られているため、密度、硬度、熱膨張といった機械的特性は同じです。主な違いは光学的なものです。

Q4: JGS1、JGS2、JGS3 はレーザーによる損傷に対して耐性がありますか?
A:はい。すべてのグレードは高いレーザー損傷閾値（1064 nm、10 nsパルスで20 J/cm²以上）を備えています。UVレーザーの場合、JGS1太陽光による劣化や表面劣化に対して最高の耐性を備えています。

私たちについて

XKHは、特殊光学ガラスおよび新結晶材料のハイテク開発、生産、販売を専門としています。当社の製品は、光エレクトロニクス、コンシューマーエレクトロニクス、軍事用途に使用されています。サファイア光学部品、携帯電話レンズカバー、セラミック、LT、シリコンカーバイド（SiC）、石英、半導体結晶ウェハなどを提供しています。熟練した専門知識と最先端の設備を駆使し、非標準製品の加工にも卓越した技術力を発揮し、光電子材料のハイテク企業として世界をリードすることを目指しています。