LiNbO₃ ウェハー 2インチ~8インチ 厚さ0.1~0.5mm TTV 3µm カスタム
技術的パラメータ
材料 | 光学グレードLiNbO3ウエハ | |
キュリー温度 | 1142±2.0℃ | |
切断角度 | X/Y/Zなど | |
直径/サイズ | 2インチ/3インチ/4インチ/6インチ/8インチ | |
許容誤差(±) | 0.20 mm未満 | |
厚さ | 0.1~0.5mm以上 | |
プライマリーフラット | 16mm/22mm/32mm | |
TTV | <3µm | |
弓 | -30 | |
ワープ | <40µm | |
オリエンテーションフラット | すべて利用可能 | |
表面タイプ | 片面研磨/両面研磨 | |
研磨面Ra | <0.5nm | |
S/D | 20/10 | |
エッジ基準 | R=0.2mmまたはブルノーズ | |
光学ドープ | 光学グレードLN<ウェハ用Fe/Zn/MgOなど | |
ウェーハ表面基準 | 屈折率 | No=2.2878/Ne=2.2033 @632nm波長 |
汚染、 | なし | |
粒子 ¢>0.3 µm | <= 30 | |
傷、欠け | なし | |
欠陥 | エッジのひび割れ、傷、鋸の跡、汚れはありません | |
パッケージ | 数量/ウエハースボックス | 1箱25個入り |
当社のLiNbO₃ウェハーのコア特性
1.フォトニック性能特性
当社のLiNbO₃ウェハは、非線形光学係数が42pm/Vに達するという並外れた光物質相互作用特性を有し、量子フォトニクスに不可欠な効率的な波長変換プロセスを可能にします。この基板は320~5200nmの波長域で72%以上の透過率を維持し、特別に設計されたバージョンでは通信波長域で0.2dB/cm未満の伝搬損失を実現しています。
2.音響波工学
当社のLiNbO₃ウェハーの結晶構造は、3800 m/sを超える表面波速度をサポートし、最大12GHzの共振器動作を可能にします。当社独自の研磨技術により、挿入損失1.2dB未満の表面弾性波(SAW)デバイスを実現し、温度安定性は±15ppm/°C以内を維持しています。
3.環境レジリエンス
極限の条件に耐えられるよう設計された当社のLiNbO₃ウェハは、極低温から500℃の動作環境まで、機能性を維持します。この材料は優れた耐放射線性を備えており、1Mradを超える総電離線量に対しても、著しい性能低下なく耐えることができます。
4.アプリケーション固有の構成
当社では、次のようなドメインエンジニアリングバリアントを提供しています。
5~50μmのドメイン周期を持つ周期分極構造
ハイブリッド集積化のためのイオンスライス薄膜
特殊用途向けのメタマテリアル強化バージョン
LiNbO₃ウェハの実装シナリオ
1.次世代光ネットワーク
LiNbO₃ウェハは、テラビット規模の光トランシーバーのバックボーンとして機能し、高度なネスト型変調器設計により800Gbpsのコヒーレント伝送を可能にします。当社の基板は、AI/MLアクセラレータシステムにおけるコパッケージ型光学部品実装にますます採用されています。
2.6G RFフロントエンド
最新世代のLiNbO₃ウェハは、最大20GHzの超広帯域フィルタリングをサポートし、新興の6G規格のスペクトルニーズに対応します。当社の材料は、Q値が2000を超える革新的な音響共振器アーキテクチャを実現します。
3.量子情報システム
精密分極反転LiNbO₃ウェハは、90%を超える対生成効率を有する量子もつれ光子源の基盤となります。当社の基板は、光子量子コンピューティングと安全な通信ネットワークにおける画期的な進歩を可能にします。
4.高度なセンシングソリューション
1550nmで動作する車載用LiDARから超高感度重量測定センサーまで、LiNbO₃ウェハーは重要な変換プラットフォームを提供します。当社の材料は、単一分子検出レベルまでのセンサー解像度を実現します。
LiNbO₃ウェハの主な利点
1. 比類のない電気光学性能
非常に高い電気光学係数 (r₃₃~30-32 pm/V): 商用ニオブ酸リチウム ウェーハの業界ベンチマークであり、シリコンベースまたはポリマー ソリューションのパフォーマンス限界をはるかに超える 200Gbps 以上の高速光変調器を実現します。
超低挿入損失 (<0.1 dB/cm): ナノスケール研磨 (Ra<0.3 nm) と反射防止 (AR) コーティングにより実現され、光通信モジュールのエネルギー効率が大幅に向上します。
2. 優れた圧電特性と音響特性
高周波 SAW/BAW デバイスに最適: 音速が 3500 ~ 3800 m/s のこれらのウェーハは、挿入損失 <1.0 dB の 6G mmWave (24 ~ 100 GHz) フィルタ設計をサポートします。
高い電気機械結合係数 (K²~0.25%): RF フロントエンド コンポーネントの帯域幅と信号選択性を向上させ、5G/6G 基地局や衛星通信に適しています。
3. 広帯域透過性と非線形光学効果
超広帯域光透過ウィンドウ (350 ~ 5000 nm): UV から中赤外線までのスペクトルをカバーし、次のような用途を可能にします。
量子光学: 周期分極反転 (PPLN) 構成は、もつれ光子対生成において 90% を超える効率を実現します。
レーザー システム: 光パラメトリック発振 (OPO) は、調整可能な波長出力 (1 ~ 10 μm) を提供します。
優れたレーザー損傷閾値 (>1 GW/cm²): 高出力レーザー アプリケーションの厳しい要件を満たします。
4. 極限の環境安定性
高温耐性(キュリー点:1140°C):-200°C~+500°Cの範囲で安定した性能を維持し、以下の用途に最適です。
自動車用電子機器(エンジンルームセンサー)
宇宙船(深宇宙光学部品)
耐放射線性 (>1 Mrad TID): MIL-STD-883 規格に準拠しており、原子力および防衛電子機器に適しています。
5. カスタマイズと統合の柔軟性
結晶配向とドーピングの最適化:
X/Y/Zカットウェーハ(精度±0.3°)
光学的損傷耐性を向上するためのMgOドーピング(5モル%)
異機種統合サポート:
シリコンフォトニクス(SiPh)とのハイブリッド統合のための薄膜LiNbO₃-on-Insulator(LNOI)と互換性があります
共パッケージ光学部品(CPO)のウェーハレベル接合を可能にする
6. スケーラブルな生産とコスト効率
6 インチ (150 mm) ウェハの大量生産: 従来の 4 インチ プロセスに比べて単位コストを 30% 削減します。
迅速な納品: 標準製品は 3 週間で出荷され、小バッチのプロトタイプ (最小 5 枚のウェーハ) は 10 日で納品されます。
XKHサービス
1. マテリアルイノベーションラボ
当社の結晶成長の専門家は、お客様と協力して、次のようなアプリケーション固有の LiNbO₃ ウェハ配合を開発しています。
低光損失タイプ(<0.05dB/cm)
高出力処理構成
放射線耐性組成物
2. ラピッドプロトタイピングパイプライン
設計から納品まで10営業日以内:
カスタムオリエンテーションウェーハ
パターン化された電極
事前に特性評価されたサンプル
3. パフォーマンス認証
すべての LiNbO₃ ウェハー出荷には以下が含まれます:
完全な分光学的特性評価
結晶方位の検証
表面品質認証
4. サプライチェーン保証
重要なアプリケーション専用の生産ライン
緊急注文のためのバッファ在庫
ITAR準拠の物流ネットワーク


