LiTaO₃インゴット 直径50mm~150mm X/Y/Zカット方向 ±0.5° 許容差
技術的パラメータ
仕様 | 従来の | 高精度 |
材料 | LiTaO3(LT)/LiNbO3ウェハ | LiTaO3(LT)/LiNbO3ウェーハ |
オリエンテーション | X-112°Y、36°Y、42°Y±0.5° | X-112°Y、36°Y、42°Y±0.5° |
平行 | 30インチ | 10インチ |
垂直 | 10分 | 5' |
表面品質 | 40/20 | 20/10 |
波面歪み | λ/4@632nm | λ/8@632nm |
表面の平坦性 | λ/4@632nm | λ/8@632nm |
クリアアパーチャ | 90%以上 | 90%以上 |
面取り | <0.2×45° | <0.2×45° |
厚さ/直径公差 | ±0.1 mm | ±0.1 mm |
最大寸法 | 直径150×50mm | 直径150×50mm |
LiTaO₃インゴット - 主な特性
1. 優れた圧電性能と音響性能
高い圧電係数 (d₃₃~8 pC/N): LiNbO₃ (~6 pC/N) よりも優れており、5G RF フロントエンド向けの超低挿入損失 (<1.2 dB) の高周波 SAW/BAW フィルターを実現します。
強力な電気機械結合 (K²~0.5%): Sub-6GHz および mmWave 通信システムの帯域幅と効率を向上させます。
2. 優れた熱安定性
高いキュリー温度 (600°C): -50°C ~ 300°C の範囲で安定した圧電性能を維持し、自動車用電子機器や産業用センサーに最適です。
低熱膨張係数(7.5×10⁻⁶/K):精密機器の熱ドリフトを最小限に抑えます。
3. 光学的および化学的堅牢性
広帯域透明性 (400 ~ 5000 nm): IR ウィンドウおよび電気光学変調器の透過率 > 70%。
化学的不活性: 酸/アルカリに耐性があり、過酷な環境での航空宇宙および防衛用途に適しています。
4. カスタマイズ機能
配向エンジニアリング: 圧電/光学特性をカスタマイズするための X/Y/Z カットインゴット (許容範囲 ±0.5°)。
ドーピングの最適化: 光損傷耐性のための Mg ドーピング、圧電応答の強化のための Zn ドーピング。
LiTaO₃インゴット - 主な用途
1. 5GとRF通信
SAW/BAW フィルター: スマートフォンや基地局での高周波 (2 ~ 10 GHz)、低損失信号処理を可能にします。
FBAR 共振器: RF 発振器に高い Q 係数 (>1000) を提供します。
2. 光学および赤外線技術
IR 検出器ウィンドウ: 熱画像撮影や軍事偵察に広帯域の透明性を活用します。
電気光学変調器: 光ファイバーにおける高速光信号変調を容易にします。
3. 自動車・産業用センシング
超音波センサー: エンジンルームの温度に耐える、駐車支援および TPMS 用。
高温圧力センサー: 石油探査や産業用制御における信頼性の高いパフォーマンス。
4. 防衛・航空宇宙
EW フィルター: 軍用レーダー/通信システム向けに耐放射線強化されています。
ミサイルシーカー部品: 熱安定性により、過酷な条件下でも信頼性を確保します。
5. 家電製品
RF フロントエンド モジュール: スマートフォンの信号選択性を強化します。
スマートホーム センサー: 超音波測距とジェスチャー認識。
LiTaO₃インゴットの主な利点
1. 卓越した結晶品質と一貫性
LiTaO₃インゴットは、高純度Ta₂O₅(≥99.999%)と最適化されたチョクラルスキー(CZ)法を使用して製造され、以下を実現します。
超低欠陥密度(転位 <500 cm⁻²、介在物 ≤5/cm³)
軸方向/半径方向抵抗率の変動 <5% (バッチ間の一貫性を確保)
X/Y/Zカット方向精度±0.5°(SAWデバイスの位相コヒーレンス要件を満たす)
2. 優れた圧電性能と熱性能
高い圧電係数(d₃₃〜8 pC/N)、LiNbO₃より30%高いため、高周波BAWフィルタ設計に最適です。
キュリー温度600℃(動作範囲-50~300℃)、極限環境下でも維持:
周波数温度係数 (TCF) <|-15ppm/°C|
電気機械結合係数(K²)の変動<0.5%
3. カスタマイズと統合の柔軟性
調整可能なドーピング(MgO 0-8mol%):
5mol%のMgOドーピングによりレーザー損傷閾値が10倍に増加
Znドーピングによりマイクロ波誘電損失が最適化される(tanδ<0.001 @10GHz)
異種統合:LNOI(LiTaO₃-on-Insulator)薄膜の作成とSi/SiNフォトニックチップとの接合をサポート
4. スケーラブルな供給保証
6インチ(150mm)量産技術:4インチに比べて40%のコスト削減
迅速な納品: 標準の方向は在庫から入手可能 (リードタイム 3 週間)、5kg からの小ロットカスタマイズをサポート (4 週間サイクル)
LiTaO₃インゴット - XKHサービス
1. コスト効率: 8 インチのインゴットは、4 インチのインゴットに比べて材料の無駄が 30% 削減され、単位あたりのコストが 18% 下がります。
2. パフォーマンスメトリック:
SAW フィルタ帯域幅: >1.28 GHz (LiTaO3 の場合は 0.8 GHz)、5G mmWave 帯域にとって重要です。
熱サイクル: 自動車用 LiDAR テストで検証され、-200 ~ 500°C サイクルで 0.05% 未満の反り変形に耐えます。
1. 持続可能性: リサイクル可能な処理方法により、水の消費量が 40%、エネルギー使用量が 25% 削減されます。
結論
LiTaO₃インゴットは、その独自の圧電特性と耐環境性により、5G通信、フォトニクス、防衛システムにおけるイノベーションを牽引し続けています。当社の材料に関する専門知識、スケーラブルな生産、そしてアプリケーションエンジニアリングは、高度な電子システムにおける最適なパートナーとしての地位を確立しています。

