LiTaO3 リチウムタンタル酸塩インゴット（Fe/Mgドーピング） 4インチ 6インチ 8インチ 産業用センシング用にカスタマイズ
技術的パラメータ
仕様 | 従来の | 高精度 |
材料 | LiTaO3(LT)/LiNbO3ウェハ | LiTaO3(LT)/LiNbO3ウェーハ |
オリエンテーション | X-112°Y、36°Y、42°Y±0.5° | X-112°Y、36°Y、42°Y±0.5° |
平行 | 30インチ | 10インチ |
垂直 | 10分 | 5' |
表面品質 | 40/20 | 20/10 |
波面歪み | λ/4@632nm | λ/8@632nm |
表面の平坦性 | λ/4@632nm | λ/8@632nm |
クリアアパーチャ | 90%以上 | 90%以上 |
面取り | <0.2×45° | <0.2×45° |
厚さ/直径公差 | ±0.1 mm | ±0.1 mm |
最大寸法 | 直径150×50mm | 直径150×50mm |
XKHサービス
1. 大規模インゴット製造
サイズとカット: X/Y/Z カット、42°Y カット、およびカスタム角度カット (±0.01° 許容範囲) を備えた 3 ～ 8 インチのインゴット。
ドーピング制御：チョクラルスキー法による Fe/Mg 共ドーピング（濃度範囲 10¹⁶～10¹⁹ cm⁻³）により、フォトリフラクティブ抵抗と熱安定性を最適化します。
2. 高度なプロセス技術
異種統合: 厚さ制御 (300～600 nm) と最大 8.78 W/m·K の熱伝導率を備えた高周波 SAW フィルター用のシリコンベースの LiTaO3 複合ウェハ (POI)。
導波管製造: プロトン交換 (PE) および逆プロトン交換 (RPE) 技術により、高速電気光学変調器 (帯域幅 >40 GHz) 用のサブミクロン導波管 (Δn >0.7) を実現します。
3. 品質管理システム
エンドツーエンドのテスト：ラマン分光法（ポリタイプ検証）、XRD（結晶度）、AFM（表面形態）、および光学均一性テスト（Δn <5×10⁻⁵）。
4. グローバルサプライチェーンサポート
生産能力: 月間生産量 5,000 インゴット以上 (8 インチ: 70%)、48 時間緊急配送をサポート。
物流ネットワーク: 温度管理梱包による航空/海上貨物輸送により、欧州、北米、アジア太平洋地域をカバーします。
5. 技術共同開発
共同 R&D ラボ: フォトニック統合プラットフォーム (SiO2 低損失層接合など) について共同で取り組みます。
まとめ
LiTaO3インゴットは、オプトエレクトロニクスと量子技術を再構築する戦略的材料として活用されています。結晶成長（例：PVT）、欠陥低減、異種材料統合（例：POI）におけるイノベーションを通じて、5G/6G通信、量子コンピューティング、産業用IoT向けに、信頼性とコスト効率に優れたソリューションを提供しています。XKHは、インゴット欠陥低減の推進と8インチ生産の拡大に注力することで、お客様がグローバルサプライチェーンをリードし、ワイドバンドギャップ半導体エコシステムの次世代を牽引できるよう尽力しています。
