LiTaO3 ウェハ 2インチ～8インチ 10x10x0.5 mm 1sp 2sp 5G/6G通信用

簡単な説明:

第三世代半導体およびオプトエレクトロニクスの極めて重要な材料であるLiTaO3ウェハ（タンタル酸リチウムウェハ）は、高いキュリー温度（610℃）、広い透過率範囲（0.4～5.0μm）、優れた圧電係数（d33 > 1,500 pC/N）、および低い誘電損失（tanδ < 2%）を活用して、5G通信、フォトニック統合、および量子デバイスに革命をもたらします。XKHは、物理気相輸送（PVT）や化学気相堆積（CVD）などの高度な製造技術を利用して、2～8インチフォーマットでX/Y/Zカット、42°Yカット、および周期分極反転（PPLT）ウェハを提供しています。これらのウェハは、表面粗さ（Ra）<0.5nm、マイクロパイプ密度<0.1cm⁻²を特徴としています。当社のサービスには、Feドーピング、化学還元、およびスマートカット異種統合が含まれ、高性能光学フィルター、赤外線検出器、および量子光源に対応しています。この材料は、小型化、高周波動作、熱安定性の面で飛躍的な進歩をもたらし、重要な技術の国内代替を加速します。

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特徴

技術的パラメータ

名前	光学グレードLiTaO3	サウンドテーブルレベルLiTaO3
軸方向	Zカット + / - 0.2°	36°Yカット/42°Yカット/Xカット（+ / - 0.2°）
直径	76.2mm + / - 0.3mm/ 100±0.2mm	76.2mm +/-0.3mm 100mm + /-0.3mm または 150±0.5mm
基準面	22mm + / - 2mm	22mm +/-2mm 32mm +/-2mm
厚さ	500um + /-5mm 1000um + /-5mm	500um + /-20mm 350um + /-20mm
TTV	≤ 10um	≤ 10um
キュリー温度	605 °C + / - 0.7 °C（DTA法）	605 °C + / -3 °C（DTA法）
表面品質	両面研磨	両面研磨
面取りされたエッジ	エッジの丸め	エッジの丸め

主な特徴

1.電気的および光学的性能
· 電気光学係数: r33 は 30 pm/V (X カット) に達し、LiNbO3 の 1.5 倍となり、超広帯域電気光学変調 (> 40 GHz 帯域幅) が可能になります。
· 広いスペクトル応答: 透過範囲 0.4～5.0 μm (厚さ 8 mm)、紫外線吸収端は 280 nm と低く、UV レーザーや量子ドットデバイスに最適です。
· 低い焦電係数: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K)、高温赤外線センサーの安定性を確保します。

2.熱的および機械的特性
· 高い熱伝導率: 4.6 W/m·K (X-カット)、石英の 4 倍、-200～500°C の熱サイクルに耐えます。
· 低熱膨張係数: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25～1000°C)、シリコンパッケージと互換性があり、熱応力を最小限に抑えます。
3.欠陥管理と加工精度
· マイクロパイプ密度: <0.1 cm⁻² (8 インチウェーハ)、転位密度 <500 cm⁻² (KOH エッチングにより検証)。
· 表面品質: CMP 研磨により Ra <0.5 nm に仕上げられ、EUV リソグラフィグレードの平坦性要件を満たしています。

主な用途

ドメイン	アプリケーションシナリオ	技術的な利点
光通信	100G/400G DWDMレーザー、シリコンフォトニクスハイブリッドモジュール	LiTaO3 ウェハの広いスペクトル透過率と低い導波路損失 (α <0.1 dB/cm) により、C バンドの拡張が可能になります。
5G/6G通信	SAWフィルタ（1.8～3.5GHz）、BAW-SMRフィルタ	42°Yカットウェーハは Kt² >15% を達成し、低い挿入損失 (<1.5 dB) と高いロールオフ (>30 dB) を実現します。
量子テクノロジー	単一光子検出器、パラメトリックダウンコンバージョン光源	高い非線形係数（χ(2)=40 pm/V）と低い暗カウント率（<100 counts/s）により量子忠実度が向上します。
産業用センシング	高温圧力センサー、変流器	LiTaO3 ウェハの圧電応答 (g33 >20 mV/m) と高温耐性 (>400°C) は、過酷な環境に適しています。