製品
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ウェハ搬送用SiCセラミックエンドエフェクタハンドリングアーム
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CVDプロセス用4インチ、6インチ、8インチSiC結晶成長炉
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6インチ 4H SEMIタイプ SiC複合基板 厚さ500μm TTV≤5μm MOSグレード
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カスタマイズされた形状のサファイア光学窓精密研磨されたサファイア部品
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ICP用4インチ/6インチウェーハホルダー用SiCセラミックプレート/トレイ
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スマートフォン画面向け高硬度カスタム形状サファイアウィンドウ
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12インチSiC基板N型大型高性能RFアプリケーション
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パワーエレクトロニクス向けカスタムN型SiCシード基板(直径153/155mm)
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4インチ~12インチサファイア/SiC/Siウェーハ処理用ウェーハ薄化装置
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12インチSiC基板 直径300mm 厚さ750μm 4H-Nタイプ カスタマイズ可能
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光通信用SiCシード結晶基板(直径205/203/208 4H-Nタイプ)
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カスタム形状のサファイア光学窓単結晶Al₂O₃耐摩耗性特注寸法または形状