高温耐性と耐摩耗性を備えた水晶ボートのカスタム装備

水晶ボートは、酸化、拡散、アニーリングなどのプロセスに使用される炉などの高温環境でシリコン ウェーハを保持および輸送するように設計されています。石英の使用により、容器は半導体製造プロセスで遭遇する極端な温度や過酷な化学環境に確実に耐えることができます。

石英ボートの設計により、複数のウェーハの効率的なロードとアンロードが可能になり、半導体製造施設での高スループット生産が可能になります。石英ボートの使用は、さまざまな熱処理および化学処理中にシリコンウェーハの完全性と品質を確保するのに役立ち、製造される半導体デバイスの全体的な精度と信頼性の向上に役立ちます。

石英ウェーハボートは、半導体業界でシリコンウェーハを取り扱うために使用される特殊なツールです。通常、その優れた熱的特性と化学的特性により選ばれた高純度の石英で作られています。

ウェーハボートは、酸化、拡散、アニーリングなどのプロセスに使用される炉などの高温環境でシリコンウェーハを搬送および処理するように設計されています。石英の使用により、ボートは半導体製造プロセスで遭遇する極端な温度や過酷な化学環境に確実に耐えることができます。

ボートの設計により、複数のウェーハの効率的なロードおよびアンロードが可能になり、半導体製造施設での高スループット生産が可能になります。石英ウェーハの使用は、さまざまな熱処理および化学処理中にシリコンウェーハの完全性と品質を確保するのに役立ち、それによって製造される半導体デバイスの精度と信頼性が向上します。