高温・耐摩耗性に優れた水晶ボートカスタム機器

石英結晶ボートは、酸化、拡散、アニールなどのプロセスに使用される炉内など、高温環境下でシリコンウェハを保持・輸送するために設計されています。石英を使用することで、これらの半導体製造プロセスで遭遇する極端な温度や過酷な化学環境にも耐えられることが保証されます。

石英ボートの設計により、複数のウェーハを効率的にロード・アンロードできるため、半導体製造施設における高スループット生産が可能になります。石英ボートの使用は、様々な熱処理および化学処理におけるシリコンウェーハの完全性と品質の確保に役立ち、製造される半導体デバイス全体の精度と信頼性の向上に貢献します。

石英製ウェーハボートは、半導体業界においてシリコンウェーハの取り扱いに使用される特殊なツールです。通常は高純度の石英で作られており、優れた熱特性と化学特性を持つため選ばれています。

ウェーハボートは、酸化、拡散、アニールなどのプロセスに使用される炉内など、高温環境でシリコンウェーハを搬送・処理するために設計されています。石英製のボートを使用することで、これらの半導体製造プロセスで遭遇する極端な温度や過酷な化学環境にも耐えることができます。

ボートの設計により、複数のウェーハを効率的にロード・アンロードできるため、半導体製造施設における高スループット生産が可能になります。石英ウェーハを使用することで、様々な熱処理・化学処理におけるシリコンウェーハの完全性と品質が確保され、製造される半導体デバイスの精度と信頼性が向上します。