石英ガラス ウエハ JGS1 JGS2 BF33 ウエハ 8 インチ 12 インチ 725 ± 25 um またはカスタマイズされました
仕様
スペック | 4" | 6" | 8" | 10" | 12インチ |
直径 | 100mm | 150mm | 200mm | 250mm | 300mm |
厚さ | 0.10mm | 0.30mm | 0.40mm | 0.50mm | 0.50mm |
プライマリーフラット | 32.5mm | 47.5mm /57.5mm / ノッチ | ノッチ | ノッチ | ノッチ |
LTV (5mmx5mm) | < 0.5um | < 0.5um | < 0.5um | < 0.5um | < 0.5um |
TTV | < 2um | < 3um | <3um | <10um | <10um |
弓 | ±20um | ±30um | ±40um | ±40um | ±40um |
ワープ | ≤ 30um | ≤ 40um | ≤ 70um | ≤ 80um | ≤ 80um |
エッジの丸み | SEMI M1.2規格準拠/IEC62276参照 | ||||
表面の種類 | 片面研磨 / 両面研磨 | ||||
研磨面Ra | Ra≦1nm | ||||
裏面の基準 | Ra 0.2-0.7um またはカスタマイズされた |
石英ガラスウェーハ JGS1 JGS2 BF33 ウェーハパラメータ表
応用
JGS1、JGS2、BF33 から作られた石英ガラス ウェーハは、さまざまな高精度産業で広く使用されています。これらのウェーハは、フォトマスク基板やウェーハレベルの光学部品などの半導体製造に最適です。また、電気通信、航空宇宙、医療機器などの業界の光学部品、レーザー、センサーにも適しています。高い熱安定性と熱衝撃に対する耐性により、極端な温度環境に最適ですが、その卓越した透過率は紫外 (UV) および赤外 (IR) 光学機器にとって非常に重要です。
プロパティ
材料の種類:
JGS1:紫外線透過率が高く、紫外線用途に優れています。
JGS2: UV、可視、赤外の範囲にわたるバランスの取れた透過率で、一般的な光学用途に適しています。
BF33: 高い耐薬品性と熱耐久性を備えたホウケイ酸ガラス。サイズオプション:
標準サイズの 8 インチおよび 12 インチのウェーハをご用意しています。
特定の要件に基づいてカスタム サイズを製造できます。厚さ:
標準厚みは725±25μmです。
さまざまな産業ニーズに合わせて厚さをカスタマイズできます。
熱特性:
熱安定性に優れ、高温環境での使用に適しています。
熱衝撃に対する高い耐性。
耐薬品性:
酸、アルカリ、およびほとんどの化学物質、特に BF33 に対する耐腐食性に優れています。
光学特性:
JGS1 および JGS2 ウェーハは、紫外 (UV)、可視、赤外 (IR) の範囲で高い光透過率を示します。
精密光学部品、フォトニクス、レーザー用途に最適です。
表面品質:
表面の平滑性と平滑性が高く、半導体や光デバイスの製造精度を確保します。
これらの特性により、JGS1、JGS2、および BF33 ウェーハは、光学、エレクトロニクス、半導体などの業界にわたる高性能アプリケーションに対して多用途性と信頼性を備えています。
全体
JGS1、JGS2、BF33 で作られた石英ガラス ウェーハは、要求の厳しいさまざまな用途にわたって優れた性能を発揮します。これらのウェーハは、厚さ 725 ± 25 μm の 8 インチおよび 12 インチの標準サイズが用意されており、特定の要件を満たすようにカスタマイズすることもできます。 JGS1 および JGS2 は UV、可視、IR 範囲で高い光透過率を提供し、BF33 は優れた耐薬品性と熱安定性を提供します。高い表面平坦性と平滑性を備えたこれらのウェーハは、半導体、光学、フォトニクスなどの精密産業に最適であり、極限環境や重要な用途における信頼性と耐久性を保証します。