石英ガラスウエハー JGS1 JGS2 BF33 ウエハー 8インチ 12インチ 725 ± 25 um またはカスタマイズ
仕様
スペック | 4" | 6" | 8" | 10インチ | 12インチ |
直径 | 100mm | 150mm | 200mm | 250mm | 300mm |
厚さ | 0.10mm | 0.30mm | 0.40mm | 0.50mm | 0.50mm |
プライマリーフラット | 32.5mm | 47.5mm / 57.5mm / ノッチ | ノッチ | ノッチ | ノッチ |
LTV(5mm×5mm) | < 0.5μm | < 0.5μm | < 0.5μm | < 0.5μm | < 0.5μm |
TTV | 2μm未満 | 3ミクロン未満 | <3um | <10ミクロン | <10ミクロン |
弓 | ±20μm | ±30um | ±40um | ±40um | ±40um |
ワープ | ≤ 30um | ≤ 40um | ≤ 70um | ≤ 80um | ≤ 80um |
エッジの丸め | SEMI M1.2規格に準拠/IEC62276参照 | ||||
表面タイプ | 片面研磨 / 両面研磨 | ||||
研磨面Ra | Ra≤1nm | ||||
裏面基準 | Ra 0.2-0.7umまたはカスタマイズ |
石英ガラスウェーハ JGS1 JGS2 BF33 ウェーハパラメータ表
応用
JGS1、JGS2、BF33から製造された石英ガラスウエハーは、様々な高精度産業で広く使用されています。これらのウエハーは、フォトマスク基板やウエハーレベル光学部品を含む半導体製造に最適です。また、通信、航空宇宙、医療機器などの産業における光学部品、レーザー、センサーにも適しています。高い熱安定性と耐熱衝撃性により、極端な温度環境にも最適です。また、優れた透過率は紫外線(UV)および赤外線(IR)光学系にとって不可欠です。
プロパティ
素材の種類:
JGS1: 高い紫外線透過率、紫外線用途に最適です。
JGS2: UV、可視光線、赤外線の範囲にわたってバランスのとれた透過率。一般的な光学用途に適しています。
BF33: 耐薬品性と耐熱性に優れたホウケイ酸ガラス。サイズオプション:
標準サイズは8インチと12インチのウエハースをご用意しております。
特定の要件に基づいてカスタムサイズを製造できます。厚さ:
標準厚さは725±25μmです。
さまざまな産業ニーズに合わせて厚さをカスタマイズできます。
熱特性:
優れた熱安定性で高温環境での使用に適しています。
耐熱衝撃性に優れています。
耐薬品性:
酸、アルカリ、およびほとんどの化学物質(特に BF33)による腐食に対して強い耐性があります。
光学特性:
JGS1 および JGS2 ウェーハは、紫外線 (UV)、可視光線、赤外線 (IR) の範囲で高い光透過率を提供します。
精密光学部品、フォトニクス、レーザー アプリケーションに最適です。
表面品質:
表面の平坦性と滑らかさが高く、半導体や光学機器の製造における精度を保証します。
これらの特性により、JGS1、JGS2、BF33 ウェーハは、光学、電子機器、半導体などの業界全体にわたる高性能アプリケーションで多用途かつ信頼性の高いものとなっています。
全体
JGS1、JGS2、BF33から製造された石英ガラスウエハーは、要求の厳しい様々な用途において卓越した性能を発揮します。標準サイズは8インチと12インチ、厚さは725±25μmで、特定の要件に合わせてカスタマイズも可能です。JGS1とJGS2は、UV、可視光、IR領域で高い光透過率を提供し、BF33は優れた耐薬品性と熱安定性を備えています。高い表面平坦性と平滑性を備えたこれらのウエハーは、半導体、光学、フォトニクスなどの精密産業に最適で、過酷な環境やクリティカルな用途における信頼性と耐久性を確保します。
詳細図

