サファイア結晶成長炉 チョクラルスキー単結晶炉 CZ法による高品質サファイアウエハの成長
CZ法の主な特徴
(1)成長原理
原料の高純度アルミナ(Al₂O₃)を融点(約2050℃)以上に加熱し、溶融状態にします。
種結晶を融液に浸漬し、温度勾配と引き上げ速度を制御することで融液が種結晶上で結晶化し単結晶へと成長します。
(2)装備構成
加熱システム: 高周波誘導加熱または抵抗加熱により高温環境を提供します。
昇降システム: 種結晶の回転と昇降速度を正確に制御し、均一な結晶成長を保証します。
雰囲気制御システム: 溶融物はアルゴンなどの不活性ガスによって酸化や汚染から保護されます。
冷却システム: 結晶の冷却速度を制御して熱応力を軽減します。
(3)主な特徴
高品質の結晶: 大型で欠陥の少ないサファイア単結晶を成長させることができます。
強力な制御性: 温度、引き上げ速度、回転速度を調整することで、結晶のサイズと品質を正確に制御します。
幅広い応用範囲:さまざまな結晶材料(シリコン、サファイア、ガドリニウムガリウムガーネットなど)に適しています。
高い生産効率:大規模な商業生産に適しています。
サファイア結晶炉におけるCZ単結晶炉の主な用途
(1)LED基板の製造
用途: CZ Czochra 単結晶炉は、GAN ベースの LED の基板材料として高品質のサファイア結晶を成長させるために使用されます。
利点: サファイア基板は光透過率が高く、格子整合が優れているため、LED 製造の中核材料となります。
市場: 照明、ディスプレイ、バックライト分野で広く使用されています。
(2)光学窓材の製造
用途: CZ Czochra 単結晶炉で育成された大型サファイア結晶は、光学窓、レンズ、プリズムの製造に使用できます。
利点: サファイアは硬度が高く化学的に安定しているため、レーザー、赤外線検出器、光学機器に適しています。
市場: ハイエンド光学機器、航空宇宙、防衛分野のアプリケーション。
(3)消費者向け電子機器保護材料
用途: CZ Czochra 単結晶炉で生産されるサファイア結晶は、スマートフォンの画面、時計のミラー、その他の保護材料の製造に使用されます。
利点: サファイアは硬度が高く、傷がつきにくいため、民生用電子機器分野に最適です。
市場: 主に高級スマートフォン、スマートウォッチ、その他の民生用電子製品向け。
(4)産業用摩耗部品
用途: CZ 単結晶炉で成長したサファイア結晶は、ベアリングや切削工具などの耐摩耗性に優れた工業用部品の製造に使用できます。
利点: サファイアは硬度と耐腐食性が高く、過酷な産業環境に最適です。
市場: 機械製造、化学、エネルギー分野で使用されています。
(5)高温センサー製造
用途: CZ Czochra 単結晶炉で製造されたサファイア結晶は、高温および腐食性環境でのセンサーの製造に使用されます。
利点: サファイアは化学的に安定しており、高温耐性があるため、過酷な環境にも適しています。
市場: 航空宇宙、自動車、産業監視に使用されます。
XKHが提供するサファイア炉設備とサービス
XKH はサファイア炉装置の開発と製造に注力しており、以下のサービスを提供しています。
カスタマイズされた装置: 顧客の要件に応じて、XKH はさまざまな仕様と構成の CZ Czochra 単結晶炉を提供し、サファイア結晶の高品質な成長をサポートします。
技術サポート: XKH は、機器の設置、プロセスの最適化から結晶成長の技術指導まで、完全なプロセス サポートを顧客に提供します。
トレーニング サービス: XKH は、機器の効率的な操作を保証するために、顧客に操作トレーニングと技術トレーニングを提供します。
アフターサービス:XKH は、顧客の生産の継続性を確保するために、迅速な対応のアフターサービスと設備メンテナンスを提供します。
アップグレード サービス: XKH は、生産効率と結晶品質を向上させるために、顧客の要件に応じて機器のアップグレードおよび変換サービスを提供します。
チョクラルスキー(CZ)法は、サファイア結晶成長の中核技術であり、高品質、高効率、高い制御性といった特徴を備えています。サファイア結晶成長炉におけるCZ単結晶炉は、LED基板、光学窓、民生用電子機器、産業用摩耗部品、高温センサーなど、幅広い用途に使用されています。XKHは、先進的なサファイア結晶成長炉設備と包括的なサービスを提供することで、お客様の高品質サファイア結晶の大規模生産を支援し、関連産業の発展に貢献しています。
詳細図

