サファイアチューブ サファイアロッド 特殊形状 高圧 KY および EFG
説明
サファイアロッドは幅広い用途に使用されています。光学用途や耐摩耗用途向けに全表面を研磨加工したもの、または絶縁体用途向けに全表面を微研磨(研磨なし)したものなどがあります。
テクノロジー
シードを用いて溶融体からサファイアチューブを引き抜く工程において、凝固先端と1850~1900℃の引き上げ領域との間の領域における縦方向温度勾配は、30℃/cmを超えないように維持されます。このようにして育成されたチューブは、1950~2000℃の温度で30~40℃/分の速度で昇温し、3~4時間その温度に保持することでアニール処理されます。その後、チューブは30~40℃/分の速度で室温まで冷却されます。
半導体処理アプリケーション:
(HPD CVD、PECVD、ドライエッチング、ウェットエッチング)
プラズマアプリケーターチューブ
プロセスガスインジェクターノズル
エンドポイント検出器
エキシマコロナ管
プラズマ封じ込め管
プラズマチューブシール機は、電子部品を封止するために使用される装置です。その原理は、高温高圧のプラズマを利用して包装材料を溶融し、部品に封止することです。プラズマチューブシール機の主な構成要素は、プラズマ発生装置、チューブシールチャンバー、真空システム、制御システムなどです。
熱電対保護シース(サーモウェル):熱電対は温度測定器で一般的に使用される温度測定素子であり、温度を直接測定し、温度信号を熱起電力信号に変換し、電気機器(二次機器)を介して測定媒体の温度に変換します。
水処理・浄化
サファイアチューブの特性(理論値)
| 複合式 | アルミナ |
| 分子量 | 101.96 |
| 外観 | 半透明チューブ |
| 融点 | 2050℃(3720℉) |
| 沸点 | 2,977° C (5,391° F) |
| 密度 | 4.0 g/cm3 |
| 形態学 | 三角(六角形)、R3c |
| H2Oへの溶解度 | 98 x 10-6 g/100g |
| 屈折率 | 1.8 |
| 電気抵抗率 | 17 10倍Ω-m |
| ポアソン比 | 0.28 |
| 比熱 | 760 J kg-1 K-1 (293K) |
| 抗張力 | 1390 MPa(極限) |
| 熱伝導率 | 30 W/mK |
| 熱膨張 | 5.3 µm/mK |
| ヤング率 | 450万気圧 |
| 正確な質量 | 101.948グラム/モル |
| モノアイソトピック質量 | 101.94782 日 |
詳細図
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