SiCインゴット 4Hタイプ 直径4インチ 6インチ 厚さ5~10mm 研究・ダミーグレード
プロパティ
1. 結晶構造と配向
ポリタイプ:4H(六角形構造)
格子定数:
a = 3.073 Å
c = 10.053 Å
方向: 通常は [0001] (C面)ですが、リクエストに応じて [11\overline{2}0] (A面) などの他の方向も利用できます。
2. 物理的な寸法
直径:
標準オプション: 4インチ (100 mm) と 6インチ (150 mm)
厚さ:
5~10 mm の範囲で利用可能で、アプリケーションの要件に応じてカスタマイズできます。
3. 電気的特性
ドーピング タイプ: 真性 (半絶縁性)、n タイプ (窒素ドープ)、または p タイプ (アルミニウムまたはホウ素ドープ) から選択できます。
4. 熱的および機械的特性
熱伝導率:室温で3.5〜4.9 W/cm·Kで、優れた放熱性を実現します。
硬度: モース硬度 9。SiC はダイヤモンドに次いで硬い。
パラメータ | 詳細 | ユニット |
成長方法 | PVT(物理蒸気輸送) | |
直径 | 50.8±0.5 / 76.2±0.5 / 100.0±0.5 / 150±0.5 | mm |
ポリタイプ | 4H / 6H(50.8 mm)、4H(76.2 mm、100.0 mm、150 mm) | |
表面の向き | 0.0˚ / 4.0˚ / 8.0˚ ± 0.5˚ (50.8 mm)、4.0˚ ± 0.5˚ (その他) | 程度 |
タイプ | N型 | |
厚さ | 5~10 / 10~15 / 15超 | mm |
プライマリフラットオリエンテーション | (10-10) ± 5.0˚ | 程度 |
プライマリフラット長さ | 15.9 ± 2.0 (50.8 mm)、22.0 ± 3.5 (76.2 mm)、32.5 ± 2.0 (100.0 mm)、47.5 ± 2.5 (150 mm) | mm |
二次フラットオリエンテーション | 方向から反時計回りに90˚ ± 5.0˚ | 程度 |
二次フラット長さ | 8.0 ± 2.0 (50.8 mm)、11.2 ± 2.0 (76.2 mm)、18.0 ± 2.0 (100.0 mm)、なし (150 mm) | mm |
学年 | 研究 / ダミー |
アプリケーション
1. 研究開発
研究グレードの4H-SiCインゴットは、SiCベースのデバイス開発に重点を置く学術研究室や産業界の研究室に最適です。優れた結晶品質により、以下のようなSiC特性に関する精密な実験が可能になります。
キャリアモビリティ研究。
欠陥の特性評価と最小化技術。
エピタキシャル成長プロセスの最適化。
2. ダミー基板
ダミーグレードのインゴットは、試験、校正、試作などの用途で広く使用されています。以下の用途において、費用対効果の高い代替品となります。
化学蒸着法 (CVD) または物理蒸着法 (PVD) におけるプロセス パラメータのキャリブレーション。
製造環境におけるエッチングおよび研磨プロセスを評価します。
3. パワーエレクトロニクス
4H-SiC は、その広いバンドギャップと高い熱伝導率により、次のようなパワーエレクトロニクスの基礎となっています。
高電圧 MOSFET。
ショットキーバリアダイオード (SBD)。
接合型電界効果トランジスタ (JFET)。
アプリケーションには、電気自動車インバーター、太陽光インバーター、スマートグリッドなどがあります。
4. 高周波デバイス
この材料は高い電子移動度と低い静電容量損失を備えているため、次のような用途に適しています。
無線周波数 (RF) トランジスタ。
5Gインフラストラクチャを含む無線通信システム。
レーダー システムを必要とする航空宇宙および防衛アプリケーション。
5. 耐放射線システム
4H-SiC は放射線による損傷に対して本質的に耐性があるため、次のような過酷な環境では欠かせないものとなっています。
宇宙探査ハードウェア。
原子力発電所の監視装置。
軍用グレードの電子機器。
6. 新興技術
SiC 技術の進歩に伴い、その応用分野は次のような分野へと拡大し続けています。
フォトニクスと量子コンピューティングの研究。
高出力LEDとUVセンサーの開発。
ワイドバンドギャップ半導体ヘテロ構造への統合。
4H-SiCインゴットの利点
高純度: 不純物と欠陥密度を最小限に抑えるために厳格な条件下で製造されています。
スケーラビリティ: 業界標準と研究規模のニーズをサポートするために、直径 4 インチと 6 インチの両方で利用できます。
汎用性: さまざまなドーピング タイプと方向に適応でき、特定のアプリケーション要件を満たすことができます。
堅牢なパフォーマンス: 過酷な動作条件下でも優れた熱安定性と機械的安定性を実現します。
結論
4H-SiCインゴットは、その卓越した特性と幅広い用途により、次世代エレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクスにおける材料イノベーションの最前線に立っています。学術研究、産業用試作、あるいは先進デバイス製造など、用途を問わず、これらのインゴットは技術の限界を押し広げるための信頼性の高いプラットフォームを提供します。寸法、ドーピング、配向をカスタマイズ可能な4H-SiCインゴットは、半導体業界の進化するニーズに応えるようカスタマイズ可能です。
さらに詳しい情報を知りたい場合や注文をしたい場合は、詳しい仕様や技術的な相談についてお気軽にお問い合わせください。
詳細図



