二酸化ケイ素ウェーハ SiO2 ウェーハ厚さ研磨済み、プライムおよびテストグレード

酸化シリコンウェーハは、大気圧炉管装置による熱酸化プロセスを使用し、高温（800℃～1150℃）で酸素または水蒸気を利用してシリコンウェーハの表面に成長させた二酸化シリコン膜です。プロセスの厚さは50ナノメートルから2ミクロン、プロセス温度は最高1100℃、成長方法は「ウェット酸素」と「ドライ酸素」の2種類に分けられます。熱酸化物は「成長した」酸化物層であり、CVD 堆積酸化物層よりも均一性が高く、緻密性が高く、絶縁耐力が高いため、優れた品質が得られます。

ドライ酸素酸化

シリコンは酸素と反応し、酸化物層は基板層に向かって絶えず移動します。ドライ酸化は、成長速度を遅くして 850 ～ 1200 ℃の温度で実行する必要があり、MOS 絶縁ゲートの成長に使用できます。高品質の極薄酸化シリコン層が必要な場合は、ウェット酸化よりもドライ酸化の方が適しています。ドライ酸化能力：15nm～300nm。

2.湿式酸化

この方法では、水蒸気を高温条件下で炉心管に進入させて酸化層を形成します。ウェット酸素酸化の緻密化はドライ酸素酸化よりわずかに劣りますが、ドライ酸素酸化と比較して成長速度が速いという利点があり、500nmを超える膜の成長に適しています。ウェット酸化能力：500nm～2μm。

AEMDの大気圧酸化炉管はチェコ製の横型炉管で、高いプロセス安定性、良好な膜均一性、優れた粒子制御を特徴としています。酸化シリコン炉チューブは、優れたウエハ内およびウエハ間の均一性で、チューブあたり最大 50 枚のウエハを処理できます。