基板
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半絶縁性SiC on Si複合基板
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N型SiC on Si複合基板 直径6インチ
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3インチSiC基板 製作径76.2mm 4H-N
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SiC基板 PおよびDグレード Dia50mm 4H-N 2インチ
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TGV ガラス基板 12インチウェハ ガラス打ち抜き
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SiCインゴット 4H-Nタイプ ダミーグレード 2インチ 3インチ 4インチ 6インチ 厚さ：＞10mm