スルーホール透明サファイア部品
詳細図
概要
スルーホール型透明サファイア部品は、光学的透明性、優れた硬度、そして化学的不活性さを兼ね備えた材料として知られる単結晶酸化アルミニウム（Al₂O₃）から精密に加工された部品です。これらの部品は、精密にドリル加工された穴を特徴としており、優れた光学性能と構造性能を維持しながら、機械的統合、光学的アライメント、あるいは制御された流路を可能にします。光学機能と機械機能の独自の組み合わせにより、半導体、航空宇宙、フォトニクス、計測機器などの産業において不可欠な存在となっています。
材料特性
サファイアの卓越した特性は、単結晶構造と化学的安定性に由来します。モース硬度9のサファイアは、高荷重下でも優れた耐摩耗性と寸法安定性を発揮します。深紫外線（UV）から可視光、中赤外線（IR）まで、幅広い波長範囲で光学的に透明であり、高い熱応力下でも透明性を維持します。サファイアの融点は2000℃を超え、酸、アルカリ、プラズマへの曝露に対して優れた耐性を示します。
コアベネフィット
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優れた透明性：190 nm ～ 5000 nm の透過範囲により、UV-IR システムにおける光損失を最小限に抑えます。
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優れた機械的強度:圧力室および真空室での使用に適した高い圧縮強度と曲げ強度。
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熱的堅牢性:極端な温度でも構造的および光学的性能を維持します。
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耐薬品性および耐プラズマ性:ほとんどの化学試薬に対して反応せず、プラズマや腐食性雰囲気でも安定しています。
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精密エンジニアリング:スルーホールは、±5 µm 以内の許容差でドリル、皿穴、またはテーパー加工できます。
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長期的な信頼性:長期間使用しても光学的特性や機械的特性は劣化しません。
アプリケーション
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半導体製造:
熱安定性と清浄性が不可欠なCVD、PECVD、エッチング装置の検査窓、ガスノズル、または絶縁部品として使用されます。 -
光学およびフォトニックデバイス:
位置合わせ、ファイバー結合、またはレーザー ビーム通過用の貫通穴を必要とする光学マウント、センサー ウィンドウ、または光ガイド インターフェイスとして機能します。 -
航空宇宙および防衛:
振動、衝撃、熱ストレス下で動作する高精度光学センサー、イメージング システム、保護カバーに統合されています。 -
分析および医療機器:
分光法やマイクロ流体分析用のフローセル、サンプルチャンバー、診断システムに適用されます。 -
産業および研究機器:
実験および計測セットアップにおいて、耐摩耗性の機械スペーサー、アライメント ジグ、および精密ホルダーとして機能します。
標準仕様
| 財産 | 仕様 |
|---|---|
| 材料 | 単結晶サファイア（Al₂O₃ ≥ 99.99%） |
| オリエンテーション | C軸、A軸、またはR軸（オプション） |
| 外径 | 2mm～100mm |
| 厚さ | 0.3mm～20mm |
| 穴径 | 0.2 mm～10 mm（カスタマイズ可能） |
| 光伝送 | >85% (400～2000 nm) |
| 表面の平坦性 | λ/10以上 |
| 並列処理 | ≤3分角 |
| スクラッチ・ディグ | 10-5、20-10（オプション） |
| 温度範囲 | −200℃～+2000℃ |
| コーティングオプション | AR、HR、DLC、またはカスタム薄膜コーティング |
よくある質問
Q1: サファイアスルーホール部品が半導体システムに適している理由は何ですか?
A1: サファイアは、電気絶縁性と高純度、耐熱性、化学的安定性を兼ね備えているため、プラズマチャンバー、光モニタリングポート、アライメントコンポーネントに最適です。
Q2: 貫通穴を斜めまたは円錐形状でドリルで穴あけできますか?
A2: はい。サファイアは、光軸調整や流体制御機能を実現するために、さまざまな角度でレーザードリル加工や超音波加工が可能です。
Q3: コーティングや表面処理は可能ですか？
A3: 反射防止コーティング、赤外線強化コーティング、ダイヤモンドライクカーボン (DLC) などの複数のコーティングを適用することで、特定のスペクトル条件または機械条件下でのパフォーマンスを向上させることができます。
Q4: どの程度の許容範囲を達成できますか?
A4: 精密 CNC と研磨制御により、寸法公差 ±5 µm 以内、角度公差 3 arcmin 以下を実現できます。
私たちについて
XKHは、特殊光学ガラスおよび新結晶材料のハイテク開発、生産、販売を専門とする企業です。製品は、光エレクトロニクス、コンシューマーエレクトロニクス、軍事分野など多岐にわたります。サファイア光学部品、携帯電話レンズカバー、セラミックス、LT、シリコンカーバイド（SiC）、石英、半導体結晶ウェハなどを提供しています。熟練した専門知識と最先端の設備を駆使し、非標準製品の加工にも強みを発揮し、光電子材料のハイテク企業として世界をリードすることを目指しています。
