超精密SiCエアベアリングステージ

簡単な説明:

半導体産業の継続的な進化に伴い、加工・検査装置にはますます高い性能が求められています。当社は、モーションコントロールとナノメートルレベルの位置決めに関する豊富な専門知識を活かし、平面H型2軸超精密エアベアリングステージを開発しました。

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特徴

詳細図

概要

有限要素法最適化された炭化ケイ素（SiC）セラミック構造と補正エアベアリング技術を採用したこのステージは、卓越した精度、剛性、そして動的応答性を実現します。以下の用途に最適です。

半導体処理および検査
マイクロ/ナノ加工と計測
ナノメートルスケールのフライカットと研磨
高速精密スキャン

主な特徴

SiCエアベアリングガイドウェイ超高剛性と高精度を実現
ハイダイナミクス: 最大速度1m/s、最大加速度4g、急速沈降
デュアルドライブガントリーY軸高い耐荷重性と安定性を確保
エンコーダオプション: 光格子またはレーザー干渉計
位置決め精度: ±0.15 μm;再現性: ±75 nm
最適化されたケーブル配線クリーンなデザインと長期的な信頼性を実現
カスタマイズ可能な構成アプリケーション固有のニーズに対応

超精密設計とダイレクトドライブ、非接触アーキテクチャ

SiCセラミックフレーム: アルミニウム合金の約 5 倍の剛性と約 5 倍の低い熱膨張により、高速安定性と熱的堅牢性を保証します。
補正エアベアリング: 独自の設計により、剛性、耐荷重性、動作安定性が向上します。
ダイナミックパフォーマンス: 1 m/s の速度と 4 g の加速度をサポートし、高スループットのプロセスに最適です。
シームレスな統合: 振動絶縁システム、回転ステージ、傾斜モジュール、およびウェーハ処理プラットフォームと互換性があります。
ケーブル管理: 制御された曲げ半径によりストレスが最小限に抑えられ、耐用年数が延長されます。

コアレスリニアモーター: コギング力がゼロでスムーズな動き。
マルチモータードライブ: 負荷平面モーターの配置により、真直度、平坦度、角度精度が向上します。
断熱: モーターはステージ構造から分離されており、高負荷サイクル向けにオプションで空冷または水冷を選択できます。

仕様

モデル	400-400	500-500	600-600
斧	X（スキャン）/ Y（ステップ）	X（スキャン）/ Y（ステップ）	X（スキャン）/ Y（ステップ）
移動量（mm）	400 / 400	500 / 500	600 / 600
精度（μm）	±0.15	±0.2	±0.2
再現性（nm）	±75	±100	±100
解像度（nm）	0.3	0.3	0.3
最高速度（m/s）	1	1	1
加速度（g）	4	4	4
真直度（μm）	±0.2	±0.3	±0.4
安定性（nm）	±5	±5	±5
最大荷重（kg）	20	20	20
ピッチ/ロール/ヨー（秒角）	±1	±1	±1

テスト条件:

空気供給: 清潔で乾燥しており、露点 ≤ 0°F、粒子ろ過 ≤ 0.25 μm、または窒素 99.99%。
精度は、20±1 °C、40～60% RH でステージ中心から 25 mm 上で測定されます。

アプリケーション

半導体リソグラフィー、検査、およびウェハハンドリング
マイクロ/ナノ加工と精密計測
ハイエンド光学部品の製造と干渉測定
航空宇宙および先端科学研究

FAQ – シリコンカーバイドエアベアリングステージ

1.エアベアリングステージとは何ですか？

エアベアリングステージは、ステージとガイドウェイの間に加圧された薄い空気膜を使用して、摩擦がなく、摩耗がなく、非常に滑らかな動き従来の機械式ベアリングとは異なり、スティックスリップを排除し、ナノメートルレベルの精度を実現し、長期的な信頼性をサポートします。

2. ステージ構造にシリコンカーバイド（SiC）を使用するのはなぜですか？

高剛性: アルミニウム合金の約5倍で、動的動作時の変形を最小限に抑えます。
低熱膨張: アルミニウムより約 5 倍低く、温度変化下でも精度を維持します。
軽量: 鋼鉄に比べて密度が低いため、高速・高加速度の動作が可能です。
優れた安定性: 優れた減衰性と剛性により超精密な位置決めを実現します。

3. ステージには潤滑やメンテナンスが必要ですか?

従来の潤滑剤は不要です。機械的な接触なし推奨されるメンテナンスは次のとおりです。

供給清潔で乾燥した圧縮空気または窒素
フィルターと乾燥機の定期点検
ケーブルと冷却システムの監視

4. 空気供給の要件は何ですか?

露点: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
粒子ろ過: ≤ 0.25 μm
清潔で乾燥した空気または99.99%の純粋な窒素
変動が最小限で安定した圧力

私たちについて

XKHは、特殊光学ガラスおよび新結晶材料のハイテク開発、生産、販売を専門とする企業です。製品は、光エレクトロニクス、コンシューマーエレクトロニクス、軍事分野など多岐にわたります。サファイア光学部品、携帯電話レンズカバー、セラミックス、LT、シリコンカーバイド（SiC）、石英、半導体結晶ウェハなどを提供しています。熟練した専門知識と最先端の設備を駆使し、非標準製品の加工にも強みを発揮し、光電子材料のハイテク企業として世界をリードすることを目指しています。