2インチSiCウェハー 6Hまたは4H半絶縁SiC基板 直径50.8mm
シリコンカーバイド基板の応用
シリコンカーバイド基板は、抵抗率の違いにより導電性と半絶縁性に分けられます。導電性シリコンカーバイドデバイスは、主に電気自動車、太陽光発電、鉄道輸送、データセンター、充電設備などのインフラに使用されています。電気自動車業界は導電性シリコンカーバイド基板に対する需要が非常に高く、現在、テスラ、BYD、NIO、小鵬などの新エネルギー自動車メーカーがシリコンカーバイドの個別デバイスまたはモジュールの採用を計画しています。
半絶縁型シリコンカーバイドデバイスは、主に5G通信、車両通信、国防用途、データ伝送、航空宇宙などの分野で使用されています。半絶縁型シリコンカーバイド基板上に窒化ガリウムエピタキシャル層を成長させることで、シリコンベースの窒化ガリウムエピタキシャルウェハからマイクロ波RFデバイスを製造することができ、主にRF分野で使用され、例えば5G通信用のパワーアンプや国防用の無線検出器などが挙げられます。
シリコンカーバイド基板製品の製造には、設備開発、原料合成、結晶成長、結晶切断、ウェハ加工、洗浄・試験など、多くの工程が含まれます。原料供給面では、松山ボロン工業は市場にシリコンカーバイド原料を提供しており、小ロット販売も実現しています。シリコンカーバイドに代表される第三世代半導体材料は現代産業において重要な役割を果たしており、新エネルギー車や太陽光発電の普及が加速する中で、シリコンカーバイド基板の需要は転換点を迎えようとしています。
詳細図


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