4H-N 8インチSiC基板ウェーハ シリコンカーバイドダミー 研究グレード 500um厚
シリコンカーバイドウェーハとSiC基板はどのように選択しますか?
シリコンカーバイド(SiC)ウェーハと基板を選択する際には、考慮すべき要素がいくつかあります。重要な基準をいくつかご紹介します。
材料タイプ:4H-SiCや6H-SiCなど、用途に適したSiC材料の種類を決定します。最も一般的に使用される結晶構造は4H-SiCです。
ドーピングタイプ:SiC基板にドープが必要か、非ドープが必要かを決定します。一般的なドーピングタイプは、お客様の具体的な要件に応じて、N型(nドープ)またはP型(pドープ)です。
結晶品質:SiCウェーハまたは基板の結晶品質を評価します。望ましい品質は、欠陥数、結晶方位、表面粗さなどのパラメータによって決まります。
ウェハ直径:用途に応じて適切なウェハサイズをお選びください。一般的なサイズは2インチ、3インチ、4インチ、6インチです。直径が大きいほど、ウェハ1枚あたりの歩留まりが向上します。
厚さ:SiCウェーハまたは基板の必要な厚さを検討してください。典型的な厚さの選択肢は、数マイクロメートルから数百マイクロメートルの範囲です。
配向:アプリケーションの要件に適合する結晶方位を決定します。一般的な配向としては、4H-SiCの場合は(0001)、6H-SiCの場合は(0001)または(0001̅)が挙げられます。
表面仕上げ:SiCウェハまたは基板の表面仕上げを評価します。表面は滑らかで、研磨されており、傷や汚染物質がないことが必要です。
サプライヤーの評判:高品質のSiCウェハと基板の製造において豊富な経験を持つ、評判の良いサプライヤーを選びましょう。製造能力、品質管理、顧客レビューなどの要素を考慮しましょう。
コスト: ウェハまたは基板あたりの価格や追加のカスタマイズ費用など、コストの影響を考慮します。
これらの要素を慎重に評価し、業界の専門家やサプライヤーに相談して、選択した SiC ウェーハと基板が特定のアプリケーション要件を満たしていることを確認することが重要です。
詳細図



