4インチ 6インチニオブ酸リチウム単結晶膜 LNOI ウェハ

簡単な説明:

ニオブ酸リチウムは、優れた電気光学特性、非線形特性、圧電特性を有しています。高度なマイクロ・ナノプロセス技術の活用により、絶縁体上のニオブ酸リチウム薄膜（LNOI）をベースとした集積フォトニクスデバイスが広く開発されています。今後、高性能LNOI材料は、LNOIをベースとしたマイクロナノ光学、集積フォトニクス、マイクロ波フォトニクスのさらなる発展を支えるでしょう。高性能LNOI材料の製造は、ニオブ酸リチウム光エレクトロニクスデバイスの産業応用において重要な一歩となるでしょう。

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製品詳細

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LNOI材料の製造プロセスは主に以下の4つのステップに分かれています。

（１）Ｘカットニオブ酸リチウム材料に一定のエネルギーでＨｅイオンを注入し、ニオブ酸リチウム表面層下の一定の深さの欠陥層に導入した。

（２）イオン注入されたニオブ酸リチウム材料を酸化物層を介してシリコン基板に接合して接合構造を形成する。

（3）接合構造をアニール処理することで、Heイオン注入によって導入された欠陥が進化・凝集し、クラックを形成させた。最後に、ニオブ酸リチウムを欠陥層に沿って分離し、残留ニオブ酸リチウムスライスとLNOIウェーハを形成した。

LNOIウェーハの用途と利点

1--ニオブ酸リチウム圧電膜（LNOI）は、高い圧電係数と誘電率を有し、機械エネルギーを電気エネルギーに、あるいは電気エネルギーを機械エネルギーに変換することができます。そのため、圧力センサー、加速度センサー、温度センサーなどのセンサー分野で広く使用されています。さらに、ニオブ酸リチウム圧電膜は、圧電セラミックトランスデューサー複合圧電セラミックフィルターなどの音響デバイスや振動デバイスにも使用できます。

2-ニオブ酸リチウム圧電膜の安定性もその利点の一つです。結晶構造の安定性と化学的不活性により、ニオブ酸リチウム圧電膜は高温、高湿度、強酸、強アルカリなどの過酷な環境下でも動作し、優れた耐腐食性と耐久性を備えています。

3-ニオブ酸リチウム圧電膜は、優れた性能と安定性を備えた新しい圧電材料であり、幅広い応用が期待されています。科学技術の継続的な発展に伴い、ニオブ酸リチウム圧電膜はより多くの都市に応用され、人々の生活にさらなる利便性と革新をもたらすでしょう。