4インチ 6インチニオブ酸リチウム単結晶膜 LNOIウェハ

簡単な説明:

ニオブ酸リチウムは、優れた電気光学特性、非線形特性、および圧電特性を備えています。高度なマイクロおよびナノ処理技術の助けを借りて、絶縁体上のニオブ酸リチウム薄膜 (LNOI) に基づく集積フォトニクスデバイスが広範囲に開発されてきました。将来的には、高性能 LNOI 材料は、LNOI ベースのマイクロナノ光学、集積フォトニクス、およびマイクロ波フォトニクスのさらなる開発をサポートするでしょう。高性能 LNOI 材料の製造は、ニオブ酸リチウムオプトエレクトロニクスデバイスの産業応用における重要なステップとなります。

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製品詳細

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LNOI材料の準備プロセスは主に次の4つのステップに分かれています

（１）Ｘカットニオブ酸リチウム材料に一定のエネルギーでＨｅイオンを注入し、ニオブ酸リチウム表層から一定の深さの欠陥層にＨｅイオンを導入した。

（２）イオン注入されたニオブ酸リチウム材料は、酸化物層を有するシリコン基板に結合されて、結合構造を形成する。

(3) 接合構造をアニールして、He イオン注入によって導入された欠陥を進化させ、凝集させて亀裂を形成させます。最後に、ニオブ酸リチウムが欠陥層に沿って分離され、残留ニオブ酸リチウムのスライスと LNOI ウェーハが形成されました。

LNOIウェーハの用途とメリット

1 - ニオブ酸リチウム圧電膜 (LNOI) は高い圧電係数と誘電率を備えており、機械エネルギーを電気エネルギーに、または電気エネルギーを機械エネルギーに変換できます。そのため、圧力センサー、加速度センサー、温度センサーなどのセンサー分野で広く使用されています。また、ニオブ酸リチウム圧電膜は、圧電セラミックトランスデューサや複合圧電セラミックフィルタなどの音響デバイスや振動デバイスにも使用することができる。

2-ニオブ酸リチウム圧電フィルムの安定性も利点の 1 つです。ニオブ酸リチウム圧電フィルムは、その結晶構造の安定性と化学的不活性により、高温、高湿度、強酸、強アルカリなどの過酷な環境でも使用でき、優れた耐食性と耐久性を備えています。

ニオブ酸 3 リチウム圧電膜は、優れた性能と安定性を備えた新しい圧電材料であり、幅広い応用の可能性があります。科学技術の継続的な発展により、ニオブ酸リチウム圧電フィルムはより多くの都市に適用され、人々の生活にさらなる利便性と革新をもたらすでしょう。