150mm 6インチ 0.7mm 0.5mm サファイアウェーハ基板キャリア C面 SSP/DSP
アプリケーション
6 インチ サファイア ウェハの用途は次のとおりです。
1. LED 製造: サファイア ウェハーは LED チップの基板として使用でき、その硬度と熱伝導性により LED チップの安定性と耐用年数が向上します。
2. レーザー製造:サファイアウェハーはレーザーの基板としても使用でき、レーザーの性能向上と耐用年数の延長に役立ちます。
3. 半導体製造:サファイアウエハーは、光合成、太陽電池、高周波電子デバイスなどの電子および光電子デバイスの製造に広く使用されています。
4. その他の用途: サファイア ウェハーは、タッチ スクリーン、光学デバイス、薄膜太陽電池などのハイテク製品の製造にも使用できます。
仕様
材料 | 高純度単結晶Al2O3、サファイアウエハー。 |
寸法 | 150 mm +/- 0.05 mm、6インチ |
厚さ | 1300 +/- 25 um |
オリエンテーション | C面(0001)はM面(1-100)から0.2 +/- 0.05度離れている |
主な平面方向 | 平面 +/- 1度 |
プライマリフラット長さ | 47.5 mm +/- 1 mm |
総厚さ変動(TTV) | 20ミクロン未満 |
弓 | 25ミクロン未満 |
ワープ | 25ミクロン未満 |
熱膨張係数 | C軸に平行な場合は6.66 x 10-6 /°C、C軸に垂直な場合は5 x 10-6 /°C |
絶縁強度 | 4.8 x 105 V/cm |
誘電率 | C軸に沿って11.5(1MHz)、C軸に垂直に9.3(1MHz) |
誘電正接(別名:誘電正接) | 1 x 10-4未満 |
熱伝導率 | 20℃で40 W/(mK) |
研磨 | 片面研磨(SSP)または両面研磨(DSP)Ra < 0.5 nm(AFMによる)。SSPウェハの裏面はRa = 0.8 - 1.2 umに精密研磨されています。 |
透過率 | 88% +/-1% @460 nm |
詳細図


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