6 インチ HPSI SiC 基板ウェハ 炭化ケイ素半絶縁性 SiC ウェハ

現在のSiC単結晶の成長法には主に液相法、高温化学気相成長法、物理気相輸送（PVT）法の3つがあります。その中でも、PVT 法は最も研究され成熟した SiC 単結晶成長技術ですが、その技術的な問題点は次のとおりです。

(1) SiC 単結晶は密閉グラファイトチャンバー上で 2300 ℃ の高温で「固体 - 気体 - 固体」変換再結晶プロセスを完了します。成長サイクルは長く、制御が難しく、微小管、介在物、異物が発生しやすいです。その他の欠陥。

(2) 炭化ケイ素単結晶には 200 以上の異なる結晶型が含まれますが、一般に生産される結晶型は 1 つだけであり、成長過程で結晶型変態が生じやすく、その結果多種類の介在物欠陥が発生し、単一の結晶型の製造プロセスが発生します。特定の結晶型は、プロセスの安定性を制御することが困難です。たとえば、現在主流の 4H 型です。

（３）炭化ケイ素単結晶成長の熱場には温度勾配があり、その結果、結晶成長プロセスにおいて自然内部応力が生じ、転位、欠陥、その他の欠陥が誘発される。

(4) 炭化ケイ素単結晶の成長プロセスでは、非常に高純度の半絶縁性結晶や方向性ドープされた導電性結晶を得るために、外部不純物の導入を厳密に制御する必要がある。 RF デバイスで使用される半絶縁性炭化ケイ素基板の場合、結晶内の非常に低い不純物濃度と特定の種類の点欠陥を制御することによって電気的特性を達成する必要があります。