8インチリチウムニオブ酸塩ウェハーLiNbO3 LNウェハー
詳細情報
| 直径 | 200±0.2mm |
| 大きな平坦さ | 57.5mm、ノッチ |
| オリエンテーション | 128Yカット、Xカット、Zカット |
| 厚さ | 0.5±0.025mm、1.0±0.025mm |
| 表面 | DSPとSSP |
| TTV | 5µm未満 |
| 弓 | ± (20µm ~40um) |
| ワープ | <= 20µm ~ 50µm |
| LTV(5mm×5mm) | 1.5μm未満 |
| PLTV(<0.5um) | ≥98% (5mm×5mm)、2mmの端は除く |
| Ra | Ra<=5A |
| スクラッチ&ディグ(S/D) | 20/10、40/20、60/40 |
| 角 | SEMI M1.2@GC800#に適合。Cタイプで標準 |
具体的な仕様
直径:8インチ(約200mm)
厚さ:一般的な標準厚さは0.5mmから1mmです。その他の厚さは、特定の要件に応じてカスタマイズできます。
結晶方位: 主な一般的な結晶方位は128Yカット、Zカット、Xカットの結晶方位であり、特定の用途に応じて他の結晶方位も提供できます。
サイズの利点: 8 インチのセラータ鯉ウェーハには、小さいウェーハに比べてサイズ上の利点がいくつかあります。
より大きな面積: 6 インチまたは 4 インチのウェハと比較すると、8 インチのウェハは表面積が広く、より多くのデバイスと集積回路を収容できるため、生産効率と歩留まりが向上します。
高密度: 8 インチ ウェーハを使用することで、より多くのデバイスとコンポーネントを同じ領域に実現できるため、統合とデバイス密度が向上し、デバイスのパフォーマンスが向上します。
一貫性の向上: ウェーハが大きいほど製造プロセスの一貫性が向上し、製造プロセスの変動性が低減し、製品の信頼性と一貫性が向上します。
8インチLウェハおよびLNウェハは、主流のシリコンウェハと同じ直径で接合が容易なため、高周波帯域に対応可能な高性能な「接合型SAWフィルタ」材料として最適です。
詳細図
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