8 インチ ニオブ酸リチウム ウェーハ LiNbO3 LN ウェーハ
詳細情報
直径 | 200±0.2mm |
大きな平坦度 | 57.5mm、ノッチ |
向き | 128Yカット、Xカット、Zカット |
厚さ | 0.5±0.025mm、1.0±0.025mm |
表面 | DSPとSSP |
TTV | < 5μm |
弓 | ±(20μm~40μm) |
ワープ | <= 20μm ~ 50μm |
LTV (5mmx5mm) | <1.5μm |
PLTV(<0.5um) | ≥98% (5mm*5mm) (2mm エッジを除く) |
Ra | Ra<=5A |
スクラッチ&ディグ(S/D) | 20/10、40/20、60/40 |
角 | GC800# で SEMI M1.2@ に適合します。 Cタイプのレギュラー |
具体的な仕様
直径:8インチ(約200mm)
厚さ: 一般的な標準厚さは 0.5 mm から 1 mm の範囲です。特定の要件に応じて他の厚さもカスタマイズ可能
結晶方位: 主な一般的な結晶方位は 128Y カット、Z カット、X カット結晶方位であり、特定の用途に応じて他の結晶方位も提供できます。
サイズの利点: 8 インチのコナラ鯉のウエハースには、より小さいウエハースに比べて、いくつかのサイズ上の利点があります。
広い面積: 6 インチまたは 4 インチのウェーハと比較して、8 インチのウェーハはより大きな表面積を提供し、より多くのデバイスや集積回路を収容できるため、生産効率と歩留まりが向上します。
高密度: 8 インチのウェーハを使用することにより、より多くのデバイスとコンポーネントを同じ領域に実装できるため、集積度とデバイス密度が向上し、結果としてデバイスのパフォーマンスが向上します。
より優れた一貫性: ウェーハが大きいほど、生産プロセスにおける一貫性が向上し、製造プロセスのばらつきを低減し、製品の信頼性と一貫性を向上させるのに役立ちます。
8 インチ L および LN ウェーハは、主流のシリコンウェーハと同じ直径を持ち、貼り合わせが容易です。高周波帯域まで対応可能な高性能「接合型SAWフィルター」素材として。
詳細図
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