パターンのサファイア基板PSS 2インチ4インチ6inch ICPドライエッチングは、LEDチップに使用できます
コア特性
1。材料の特性:基質材料は、硬度、高耐熱性、化学的安定性を備えた単結晶サファイア(Al₂o₃)です。
2。表面構造:表面は、フォトリソグラフィーによって形成され、コーン、ピラミッド、六角形のアレイなどの周期的なマイクロナノ構造にエッチングします。
3。光学性能:表面パターン設計により、界面での光の全反射が減少し、光抽出効率が向上します。
4。熱性能:サファイア基板は、高出力LEDアプリケーションに適した優れた熱伝導率を持っています。
5。サイズの仕様:一般的なサイズは2インチ(50.8mm)、4インチ(100mm)、6インチ(150mm)です。
主なアプリケーション領域
1。LED製造:
光抽出効率の向上:PSSは、パターン形成設計により光損失を減らし、LEDの明るさと発光効率を大幅に改善します。
改善されたエピタキシャル成長品質:パターン化された構造は、GANエピタキシャル層のより良い成長ベースを提供し、LEDパフォーマンスを向上させます。
2。レーザーダイオード(LD):
高出力レーザー:PSSの高い熱伝導率と安定性は、高出力レーザーダイオードに適しており、熱散逸性能と信頼性を向上させます。
低いしきい値電流:エピタキシャルの成長を最適化し、レーザーダイオードのしきい値を減らし、効率を向上させます。
3。フォトセクター:
高感度:PSSの高光透過率と低欠陥密度により、光検出器の感度と応答速度が向上します。
広いスペクトル応答:紫外線から可視範囲の光電子検出に適しています。
4。パワーエレクトロニクス:
高電圧抵抗:サファイアの高断熱材と熱安定性は、高電圧電力装置に適しています。
効率的な熱散逸:熱伝導率が高いと、電力装置の熱散逸性能が向上し、サービス寿命が長くなります。
5。RFデバイス:
高周波性能:PSSの低い誘電損失と高い熱安定性は、高周波RFデバイスに適しています。
低ノイズ:高い平坦度と低欠陥密度は、デバイスノイズを減らし、信号の品質を向上させます。
6。バイオセンサー:
高感度検出:PSSの高光透過と化学的安定性は、高感度バイオセンサーに適しています。
生体適合性:サファイアの生体適合性により、医療および生物検出アプリケーションに適しています。
GANエピタキシャル材料を備えたパターン化されたサファイア基質(PSS):
パターン化されたサファイア基質(PSS)は、Gan(窒化ガリウム)エピタキシャル成長の理想的な基質です。サファイアの格子定数はGANに近いため、格子の不一致とエピタキシャル成長の欠陥を減らすことができます。 PSS表面のマイクロナノ構造は、光抽出効率を改善するだけでなく、GANエピタキシャル層の結晶品質を改善し、それによってLEDの性能と信頼性を向上させます。
技術的なパラメーター
アイテム | パターン化されたサファイア基板(2〜6インチ) | ||
直径 | 50.8±0.1 mm | 100.0±0.2 mm | 150.0±0.3 mm |
厚さ | 430±25μm | 650±25μm | 1000±25μm |
表面の向き | c平面(0001)m軸(10-10)0.2±0.1°に向かってオフアングル | ||
c-plane(0001)a軸(11-20)0±0.1°に向かってオフアングル | |||
一次フラットオリエンテーション | Aプレーン(11-20)±1.0° | ||
プライマリフラット長 | 16.0±1.0 mm | 30.0±1.0 mm | 47.5±2.0 mm |
r平面 | 9時 | ||
前面仕上げ | パターン | ||
後部表面仕上げ | SSP:ファイングラウンド、ra = 0.8-1.2um; DSP:epipolished、ra <0.3nm | ||
レーザーマーク | 裏側 | ||
TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
弓 | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
ワープ | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
エッジ除外 | ≤2mm | ||
パターン仕様 | 形状構造 | ドーム、コーン、ピラミッド | |
パターンの高さ | 1.6〜1.8μm | ||
パターン直径 | 2.75〜2.85μm | ||
パターン空間 | 0.1〜0.3μm |
XKHは、顧客がLED、ディスプレイ、オプトエレクトロニクスの分野で効率的なイノベーションを達成できるように、テクニカルサポートとアフターセールスサービスを備えた高品質でカスタマイズされたパターン化されたサファイア基板(PSS)を提供することを専門としています。
1.高品質のPSS供給:LED、ディスプレイ、オプトエレクトロニクスデバイスのニーズを満たすために、さまざまなサイズ(2 "、4"、6 ")のパターンサファイア基質。
2。カスタマイズされた設計:顧客に応じた表面マイクロナノ構造(コーン、ピラミッド、六角形の配列など)をカスタマイズする必要があります。
3.テクニカルサポート:PSSアプリケーションの設計、プロセスの最適化、技術相談を提供して、顧客が製品のパフォーマンスを向上させるのに役立ちます。
4。エピタキシャル成長のサポート:高品質のエピタキシャル層の成長を確保するために、GANエピタキシャル材料と一致するPSSが提供されます。
5。テストと認証:PSS品質検査レポートを提供して、製品が業界の基準を満たしていることを確認します。
詳細な図


