パターン化サファイア基板PSS 2インチ 4インチ 6インチ ICPドライエッチングはLEDチップに使用できます

簡単な説明:

パターン化サファイア基板(PSS)は、リソグラフィーおよびエッチング技術によってマイクロ構造およびナノ構造が形成された基板です。主にLED(発光ダイオード)製造において、表面パターン設計によって光抽出効率を向上させ、LEDの輝度と性能を向上させるために使用されます。


製品詳細

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コア特性

1. 材料特性:基板材料は単結晶サファイア(Al₂O₃)で、高硬度、高耐熱性、化学的安定性を備えています。

2. 表面構造:表面は、フォトリソグラフィーとエッチングによって、円錐、ピラミッド、六角形アレイなどの周期的なマイクロナノ構造に形成されます。

3. 光学性能:表面パターン設計により、界面での光の全反射が減少し、光抽出効率が向上します。

4. 熱性能: サファイア基板は優れた熱伝導性を持ち、高出力 LED アプリケーションに適しています。

5. サイズ仕様:一般的なサイズは2インチ(50.8mm)、4インチ(100mm)、6インチ(150mm)です。

主な応用分野

1. LED製造:
光抽出効率の向上: PSS はパターン設計によって光損失を削減し、LED の明るさと発光効率を大幅に向上させます。

エピタキシャル成長品質の向上: パターン化された構造により、GaN エピタキシャル層の成長ベースが向上し、LED のパフォーマンスが向上します。

2. レーザーダイオード(LD):
高出力レーザー: PSS の高い熱伝導性と安定性は高出力レーザーダイオードに適しており、放熱性能と信頼性が向上します。

低閾値電流: エピタキシャル成長を最適化し、レーザーダイオードの閾値電流を低減して効率を向上させます。

3. 光検出器:
高感度: PSS の高い光透過率と低い欠陥密度により、光検出器の感度と応答速度が向上します。

広いスペクトル応答: 紫外線から可視光線までの範囲での光電検出に適しています。

4. パワーエレクトロニクス:
高電圧耐性: サファイアの高い絶縁性と熱安定性は、高電圧電力デバイスに適しています。

効率的な放熱: 高い熱伝導率により、パワーデバイスの放熱性能が向上し、耐用年数が長くなります。

5. RFデバイス:
高周波性能: PSS の低い誘電損失と高い熱安定性は、高周波 RF デバイスに適しています。

低ノイズ: 高い平坦性と低い欠陥密度により、デバイスのノイズが低減され、信号品質が向上します。

6. バイオセンサー:
高感度検出:PSS の高い光透過率と化学的安定性は、高感度バイオセンサーに適しています。

生体適合性: サファイアは生体適合性があるため、医療や生物検出の用途に適しています。
GaNエピタキシャル材料を用いたパターン化サファイア基板(PSS):

パターン化サファイア基板(PSS)は、GaN(窒化ガリウム)エピタキシャル成長に最適な基板です。サファイアの格子定数はGaNに近いため、エピタキシャル成長における格子不整合や欠陥を低減できます。PSS表面のマイクロナノ構造は、光抽出効率を向上させるだけでなく、GaNエピタキシャル層の結晶品質も向上させ、LEDの性能と信頼性を向上させます。

技術的パラメータ

アイテム パターン化サファイア基板(2~6インチ)
直径 50.8 ± 0.1 mm 100.0 ± 0.2 mm 150.0 ± 0.3 mm
厚さ 430±25μm 650±25μm 1000±25μm
表面の向き C面(0001)M軸(10-10)方向のオフ角0.2±0.1°
C面(0001)A軸(11-20)方向のオフ角度0 ± 0.1°
プライマリフラットオリエンテーション A面(11-20)±1.0°
プライマリフラット長さ 16.0 ± 1.0 mm 30.0 ± 1.0 mm 47.5 ± 2.0 mm
Rプレーン 9時
前面仕上げ 模様付き
裏面仕上げ SSP:ファイングラインド、Ra=0.8-1.2um; DSP:エピポリッシュ、Ra<0.3nm
レーザーマーク 裏面
TTV ≤8μm ≤10μm ≤20μm
≤10μm ≤15μm ≤25μm
ワープ ≤12μm ≤20μm ≤30μm
エッジ除外 ≤2 mm
パターン仕様 形状構造 ドーム、円錐、ピラミッド
パターンの高さ 1.6~1.8μm
パターン直径 2.75~2.85μm
パターンスペース 0.1~0.3μm

 XKH は、LED、ディスプレイ、オプトエレクトロニクスの分野での効率的なイノベーションの実現を支援するために、高品質のカスタマイズされたパターン化されたサファイア基板 (PSS) を技術サポートとアフターサービスとともに提供することに特化しています。

1. 高品質の PSS 供給: LED、ディスプレイ、光電子デバイスのニーズを満たす、さまざまなサイズ (2 インチ、4 インチ、6 インチ) のパターン化されたサファイア基板。

2. カスタマイズされた設計: 顧客のニーズに応じて表面のマイクロナノ構造 (円錐、ピラミッド、六角形アレイなど) をカスタマイズし、光抽出効率を最適化します。

3. 技術サポート: PSS アプリケーション設計、プロセス最適化、技術コンサルティングを提供し、顧客の製品パフォーマンスの向上を支援します。

4. エピタキシャル成長サポート:GaN エピタキシャル材料に適合した PSS が提供され、高品質のエピタキシャル層の成長が保証されます。

5. テストと認証: 製品が業界標準を満たしていることを確認するために PSS 品質検査レポートを提供します。

詳細図

パターン化サファイア基板(PSS)4
パターン化サファイア基板(PSS)5
パターン化サファイア基板(PSS)6

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