パターン化サファイア基板PSS 2インチ 4インチ 6インチ ICPドライエッチングはLEDチップに使用できます
コア特性
1. 材料特性:基板材料は単結晶サファイア(Al₂O₃)で、高硬度、高耐熱性、化学的安定性を備えています。
2. 表面構造:表面は、フォトリソグラフィーとエッチングによって、円錐、ピラミッド、六角形アレイなどの周期的なマイクロナノ構造に形成されます。
3. 光学性能:表面パターン設計により、界面での光の全反射が減少し、光抽出効率が向上します。
4. 熱性能: サファイア基板は優れた熱伝導性を持ち、高出力 LED アプリケーションに適しています。
5. サイズ仕様:一般的なサイズは2インチ(50.8mm)、4インチ(100mm)、6インチ(150mm)です。
主な応用分野
1. LED製造:
光抽出効率の向上: PSS はパターン設計によって光損失を削減し、LED の明るさと発光効率を大幅に向上させます。
エピタキシャル成長品質の向上: パターン化された構造により、GaN エピタキシャル層の成長ベースが向上し、LED のパフォーマンスが向上します。
2. レーザーダイオード(LD):
高出力レーザー: PSS の高い熱伝導性と安定性は高出力レーザーダイオードに適しており、放熱性能と信頼性が向上します。
低閾値電流: エピタキシャル成長を最適化し、レーザーダイオードの閾値電流を低減して効率を向上させます。
3. 光検出器:
高感度: PSS の高い光透過率と低い欠陥密度により、光検出器の感度と応答速度が向上します。
広いスペクトル応答: 紫外線から可視光線までの範囲での光電検出に適しています。
4. パワーエレクトロニクス:
高電圧耐性: サファイアの高い絶縁性と熱安定性は、高電圧電力デバイスに適しています。
効率的な放熱: 高い熱伝導率により、パワーデバイスの放熱性能が向上し、耐用年数が長くなります。
5. RFデバイス:
高周波性能: PSS の低い誘電損失と高い熱安定性は、高周波 RF デバイスに適しています。
低ノイズ: 高い平坦性と低い欠陥密度により、デバイスのノイズが低減され、信号品質が向上します。
6. バイオセンサー:
高感度検出:PSS の高い光透過率と化学的安定性は、高感度バイオセンサーに適しています。
生体適合性: サファイアは生体適合性があるため、医療や生物検出の用途に適しています。
GaNエピタキシャル材料を用いたパターン化サファイア基板(PSS):
パターン化サファイア基板(PSS)は、GaN(窒化ガリウム)エピタキシャル成長に最適な基板です。サファイアの格子定数はGaNに近いため、エピタキシャル成長における格子不整合や欠陥を低減できます。PSS表面のマイクロナノ構造は、光抽出効率を向上させるだけでなく、GaNエピタキシャル層の結晶品質も向上させ、LEDの性能と信頼性を向上させます。
技術的パラメータ
アイテム | パターン化サファイア基板(2~6インチ) | ||
直径 | 50.8 ± 0.1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
厚さ | 430±25μm | 650±25μm | 1000±25μm |
表面の向き | C面(0001)M軸(10-10)方向のオフ角0.2±0.1° | ||
C面(0001)A軸(11-20)方向のオフ角度0 ± 0.1° | |||
プライマリフラットオリエンテーション | A面(11-20)±1.0° | ||
プライマリフラット長さ | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47.5 ± 2.0 mm |
Rプレーン | 9時 | ||
前面仕上げ | 模様付き | ||
裏面仕上げ | SSP:ファイングラインド、Ra=0.8-1.2um; DSP:エピポリッシュ、Ra<0.3nm | ||
レーザーマーク | 裏面 | ||
TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
弓 | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
ワープ | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
エッジ除外 | ≤2 mm | ||
パターン仕様 | 形状構造 | ドーム、円錐、ピラミッド | |
パターンの高さ | 1.6~1.8μm | ||
パターン直径 | 2.75~2.85μm | ||
パターンスペース | 0.1~0.3μm |
XKH は、LED、ディスプレイ、オプトエレクトロニクスの分野での効率的なイノベーションの実現を支援するために、高品質のカスタマイズされたパターン化されたサファイア基板 (PSS) を技術サポートとアフターサービスとともに提供することに特化しています。
1. 高品質の PSS 供給: LED、ディスプレイ、光電子デバイスのニーズを満たす、さまざまなサイズ (2 インチ、4 インチ、6 インチ) のパターン化されたサファイア基板。
2. カスタマイズされた設計: 顧客のニーズに応じて表面のマイクロナノ構造 (円錐、ピラミッド、六角形アレイなど) をカスタマイズし、光抽出効率を最適化します。
3. 技術サポート: PSS アプリケーション設計、プロセス最適化、技術コンサルティングを提供し、顧客の製品パフォーマンスの向上を支援します。
4. エピタキシャル成長サポート:GaN エピタキシャル材料に適合した PSS が提供され、高品質のエピタキシャル層の成長が保証されます。
5. テストと認証: 製品が業界標準を満たしていることを確認するために PSS 品質検査レポートを提供します。
詳細図


