NPSS/FSS 上の 50.8mm/100mm AlN テンプレート サファイア上の AlN テンプレート
AlN-オン-サファイア
AlN-On-Sapphire は、次のようなさまざまな光電デバイスの製造に使用できます。
1. LED チップ: LED チップは通常、窒化アルミニウムフィルムやその他の材料で作られています。 LED チップの基板として AlN-On-Sapphire ウェハを使用することで、LED の効率と安定性を向上させることができます。
2. レーザー: AlN-On-Sapphire ウェーハは、医療、通信、材料加工で一般的に使用されるレーザーの基板としても使用できます。
3. 太陽電池: 太陽電池の製造には、窒化アルミニウムなどの材料を使用する必要があります。 AlN-On-Sapphire を基板として使用すると、太陽電池の効率と寿命を向上させることができます。
4. その他の光電子デバイス: AlN-On-Sapphire ウェーハは、光検出器、光電子デバイス、およびその他の光電子デバイスの製造にも使用できます。
結論として、AlN-On-Sapphire ウェーハは、その高い熱伝導率、高い化学的安定性、低損失、優れた光学特性により、光電分野で広く使用されています。
NPSS/FSS の 50.8mm/100mm AlN テンプレート
アイテム | 備考 | |||
説明 | AlN-on-NPSS テンプレート | AlN-on-FSS テンプレート | ||
ウェーハ直径 | 50.8mm、100mm | |||
基板 | c面NPSS | c 面平面サファイア (FSS) | ||
基板の厚さ | 50.8mm、100mmc 面プレーナーサファイア (FSS)100mm : 650 um | |||
AINエピ層の厚さ | 3~4um(目標:3.3um) | |||
導電率 | 絶縁 | |||
表面 | 成長したまま | |||
RMS<1nm | RMS<2nm | |||
裏側 | 研削済み | |||
FWHM(002)XRC | < 150 秒角 | < 150 秒角 | ||
FWHM(102)XRC | < 300 秒角 | < 300 秒角 | ||
エッジの除外 | < 2mm | < 3mm | ||
プライマリフラット方向 | a面+0.1° | |||
一次平坦長さ | 50.8mm: 16+/-1 mm 100mm: 30+/-1 mm | |||
パッケージ | 輸送箱または枚葉式ウエハコンテナに梱包 |
詳細図
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