NPSS/FSS 上の 50.8mm/100mm AlN テンプレート サファイア上の AlN テンプレート

簡単な説明:

AlN-On-Sapphire は、サファイア基板上に窒化アルミニウム膜を成長させた材料の組み合わせを指します。この構造では、化学気相成長法 (CVD) または有機化学気相成長法 (MOCVD) によって高品質の窒化アルミニウム膜を成長させることができ、窒化アルミニウム膜とサファイア基板の組み合わせが良好になります。この構造の利点は、窒化アルミニウムが高い熱伝導率、高い化学的安定性、優れた光学特性を備えているのに対し、サファイア基板は優れた機械的特性、熱的特性、透明性を備えていることです。


製品詳細

製品タグ

AlN-オン-サファイア

AlN-On-Sapphire は、次のようなさまざまな光電デバイスの製造に使用できます。
1. LED チップ: LED チップは通常、窒化アルミニウムフィルムやその他の材料で作られています。 LED チップの基板として AlN-On-Sapphire ウェハを使用することで、LED の効率と安定性を向上させることができます。
2. レーザー: AlN-On-Sapphire ウェーハは、医療、通信、材料加工で一般的に使用されるレーザーの基板としても使用できます。
3. 太陽電池: 太陽電池の製造には、窒化アルミニウムなどの材料を使用する必要があります。 AlN-On-Sapphire を基板として使用すると、太陽電池の効率と寿命を向上させることができます。
4. その他の光電子デバイス: AlN-On-Sapphire ウェーハは、光検出器、光電子デバイス、およびその他の光電子デバイスの製造にも使用できます。

結論として、AlN-On-Sapphire ウェーハは、その高い熱伝導率、高い化学的安定性、低損失、優れた光学特性により、光電分野で広く使用されています。

NPSS/FSS の 50.8mm/100mm AlN テンプレート

アイテム 備考
説明 AlN-on-NPSS テンプレート AlN-on-FSS テンプレート
ウェーハ直径 50.8mm、100mm
基板 c面NPSS c 面平面サファイア (FSS)
基板の厚さ 50.8mm、100mmc 面プレーナーサファイア (FSS)100mm : 650 um
AINエピ層の厚さ 3~4um(目標:3.3um)
導電率 絶縁

表面

成長したまま
RMS<1nm RMS<2nm
裏側 研削済み
FWHM(002)XRC < 150 秒角 < 150 秒角
FWHM(102)XRC < 300 秒角 < 300 秒角
エッジの除外 < 2mm < 3mm
プライマリフラット方向 a面+0.1°
一次平坦長さ 50.8mm: 16+/-1 mm 100mm: 30+/-1 mm
パッケージ 輸送箱または枚葉式ウエハコンテナに梱包

詳細図

sapphire3 上の FSS AlN テンプレート
sapphire4 上の FSS AlN テンプレート

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