直径300x1.0mm厚サファイアウェハC面SSP/DSP

上海鑫科慧新材料有限公司は、様々な面方位（c面、r面、a面、m面）のサファイアウェハを製造し、オフカット角を0.1度以内に制御することができます。独自の技術により、エピタキシャル成長やウェハ接合などの用途に求められる高品質を実現しています。

特徴

結晶材料	99,999% Al2O3、高純度、単結晶、Al2O3
クリスタルの品質	内包物、ブロックマーク、双晶、色、マイクロバブル、分散中心は存在しません
直径	2インチ	3インチ	4インチ	6インチ～12インチ
直径	50.8±0.1mm	76.2±0.2mm	100±0.3mm	標準生産規定に従って
厚さ	430±15µm	550±15µm	650±20µm	顧客によるカスタマイズが可能
オリエンテーション	C面(0001)からM面(1-100)またはA面(1 1-2 0)まで0.2±0.1°/0.3±0.1°、R面(1-1 0 2)、A面(1 1-2 0)、M面(1-1 0 0)、任意の方向、任意の角度
プライマリフラット長さ	16.0±1mm	22.0±1.0mm	32.5±1.5ミリメートル	標準生産規定に従って
プライマリフラットオリエンテーション	A面（1 1-2 0）±0.2°
TTV	≤10µm	≤15µm	≤20µm	≤30µm
LTV	≤10µm	≤15µm	≤20µm	≤30µm
TIR	≤10µm	≤15µm	≤20µm	≤30µm
弓	≤10µm	≤15µm	≤20µm	≤30µm
ワープ	≤10µm	≤15µm	≤20µm	≤30µm
前面	エピ研磨（Ra< 0.2nm）