Dia300x1.0mmt 厚さサファイアウエハー C-Plane SSP/DSP

上海新科匯新材料有限公司では、さまざまな面方位（c面、r面、a面、m面）のサファイアウェーハを生産し、オフカット角を0.1度以内に制御することができます。独自の技術により、エピタキシャル成長やウェーハ貼り合わせなどのアプリケーションに求められる高品質を実現します。

製品の詳細

水晶材料	Al2O3 99,999%、高純度、単結晶、Al2O3
結晶の品質	インクルージョン、ブロックマーク、ツイン、カラー、マイクロバブル、分散センターは存在しません。
直径	2インチ	3インチ	4インチ	6インチ～12インチ
直径	50.8±0.1mm	76.2±0.2mm	100±0.3mm	標準生産の規定に従って
厚さ	430±15μm	550±15μm	650±20μm	顧客によるカスタマイズが可能
オリエンテーション	C面(0001)～M面(1-100)またはA面(1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°、R面(1-1 0 2)、A面(1 1-2 0 )、M 平面(1-1 0 0)、任意の方向、任意の角度
一次平坦長さ	16.0±1mm	22.0±1.0mm	32.5±1.5mm	標準生産の規定に従って
一次平面方向	A面(1 1-2 0 ) ±0.2°
TTV	≤10μm	≤15μm	≤20μm	≤30μm
LTV	≤10μm	≤15μm	≤20μm	≤30μm
TIR	≤10μm	≤15μm	≤20μm	≤30μm
弓	≤10μm	≤15μm	≤20μm	≤30μm
ワープ	≤10μm	≤15μm	≤20μm	≤30μm
前面	エピ研磨 (Ra< 0.2nm)