6インチN型またはP型シリコンウェハ CZ Siウェハ
ウエハースボックスのご紹介
シリコンウェーハの仕様:
6インチシリコンウェーハ成長:CZ、MCZ、FZ。
6 シリコンウェーハグレード: プライム、テスト、ダミーなど
6インチシリコンウェハー直径: 6インチ/150mm。
6インチシリコンウェハー厚さ: 200~3000um。
6インチシリコンウェーハ 仕上げ:アズカット、ラッピング、エッチング、SSP、DSPなど。
6インチシリコンウェーハ 方位:(100)(111)(110)(531)(553)など。
6インチシリコンウェーハ オフカット:最大4deg。
6インチシリコンウェーハタイプ/ドーパント: P/B、N/Phos、N/As、N/Sb、真性。
6 インチ シリコン ウェーハ 抵抗率: CZ/MCZ: 0.001 ~ 1000 ohm-cm。 FZ: 最大 20k ohm-cm。
6 インチ シリコン ウェーハ 薄膜: (a)PVD: Al、Cu、Au、Cr、Si、Ni;、Fe、Mo など、コーティング厚さは最大 20,000 Å/5%。
(b)LPCVD/PECVD:酸化物、窒化物、SiCなど、コーティング厚さは最大200,000A/3%。
(c)シリコンエピタキシャルウェーハおよびエピタキシャルサービス(SOS、GaN、GOIなど)。
6インチシリコンウェーハ プロセス: a.DSP、超薄型、超平面など。
b.小型化、バックグラインド、ダイシング等。c. MEMS。
2010年以来、上海XKHマテリアルテック。株式会社は、デバッグレベルのウェーハであるダミーウェーハ、テストレベルのウェーハであるテストウェーハから製品レベルのウェーハであるプライムウェーハ、さらには特殊ウェーハである酸化物ウェーハ、酸化膜、窒化物ウェーハSi3N4、アルミニウムメッキウェーハ、銅メッキシリコンウェーハ、SOIウェーハ、MEMSガラス、カスタマイズされた超厚ウェーハおよび超平坦ウェーハ、半導体ウエハの片面・両面研磨、薄化、ダイシング、MEMS等の加工・カスタマイズサービスを提供します。