6インチN型またはP型シリコンウェハCZ Siウェハ
ウエハースボックスのご紹介
シリコンウェハの仕様:
6インチシリコンウェハ成長: CZ、MCZ、FZ。
6 シリコンウェーハグレード: プライム、テスト、ダミーなど
6インチシリコンウェーハ直径: 6インチ/150mm。
6インチシリコンウェハー厚さ:200〜3000um。
6インチシリコンウェーハ 仕上げ: カット、ラッピング、エッチング、SSP、DSPなど。
6インチシリコンウェハー方向: (100) (111) (110) (531)(553)など。
6インチシリコンウェハーオフカット:最大4度。
6インチ シリコン ウェーハ タイプ/ドーパント: P/B、N/Phos、N/As、N/Sb、真性。
6 インチ シリコン ウェハー抵抗率: CZ/MCZ: 0.001 ~ 1000 オーム-cm。FZ: 最大 20k オーム-cm。
6インチ シリコン ウェーハ 薄膜: (a)PVD: Al、Cu、Au、Cr、Si、Ni、Fe、Mo など、コーティングの厚さは最大 20.000A/5%。
(b)LPCVD/PECVD: 酸化物、窒化物、SiCなど、コーティング厚さ最大200.000A/3%。
(c)シリコンエピタキシャルウェーハおよびエピタキシャルサービス(SOS、GaN、GOIなど)。
6インチシリコンウェハプロセス:a.DSP、超薄型、超平坦など。
b.ダウンサイジング、バックグラインド、ダイシング等。c. MEMS。
上海 XKH マテリアルテクノロジー株式会社は 2010 年以来、デバッグレベルのウェーハ (ダミーウェーハ)、テストレベルのウェーハ (テストウェーハ)、製品レベルのウェーハ (プライムウェーハ)、特殊ウェーハ、酸化物ウェーハ (酸化物)、窒化物ウェーハ (Si3N4)、アルミメッキウェーハ、銅メッキシリコンウェーハ、SOI ウェーハ、MEMS ガラス、カスタマイズされた超厚型および超平坦型ウェーハなど、50 mm ~ 300 mm のサイズにわたる包括的な 4 インチウェーハ シリコンウェーハ ソリューションをお客様に提供することに尽力しており、片面/両面研磨、薄化、ダイシング、MEMS などの加工およびカスタマイズ サービスを備えた半導体ウェーハも提供できます。
詳細図


